Entwicklung eines magnetooptischen Wirbelstrommikroskops zur hochauflösenden Prüfung im oberflächennahen Bereich

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Weil die Weiterentwicklung konventioneller induktiver Wirbelstromsensoren zur Verbesserung des Auflösungsvermögens bis in den Submikrometerbereich prinzipbedingt bereits an ihre Grenzen gestoßen ist, soll in dem beantragten Forschungsvorhaben das Prinzip der Faraday-Mikroskopie, d.h. die hochauflösende Abbildung magnetischer Felder mit Hilfe spezieller magneto-optischer Sensoren auf die spezifischen Anforderungen der Wirbelstromprüfung angewendet und zur hochauflösenden Abbildung von Wirbelstromverteilungen eingesetzt werden. die Grundlage dieses magnetooptischen Wirbelstrommikroskops bildet der optische Faraday-Effekt, daß heißt die Drehung der Polarisationsebene von Licht in einer speziellen Kristallschicht, die von dem zu messenden Magnetfeld durchflutet wird. Die notwendige Wirbelstromanregung wird dabei mit Hilfe von Simulationsrechnungen konzipiert und aufgebaut. Ferner sollen Auflösungsvermögen und Empfindlichkeit des neuen magnetooptischen Wirbelstrommikroskops anhand spezieller Modellproben mit definierten Strukturen bis in den Submikrometerbereich untersucht und optimiert werden. Hierbei sind insbesondere die Meßeinflüsse durch die Oberflächenbeschaffenheit (z.B. Rauheit) in Abhängigkeit von der über die Wirbelstromfrequenz einstellbaren Wirktiefe zu berücksichtigen.