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MEMS光メタマテリアルによる屈折率の動的制御

使用 MEMS 光学超材料动态控制折射率

基本信息

批准号：
13J02945
负责人：
穂苅遼平
金额：
$ 1.15万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2013
资助国家：
日本
起止时间：
2013 至 2014
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究では「メタマテリアルが示す光学特性の構造依存性」と「MEMSによる微細構造の動的な精密位置制御」を活用したMEMS駆動型光メタマテリアルを実現し、屈折率の動的制御を目的としている。本年度は、①光学特性における製作誤差の影響評価、②EITメタマテリアルにより生じる位相差の評価を行った。そして③光領域で応答するMEMS駆動型EITメタマテリアルの製作工程の構築に努めた。可変メタマテリアルによる透過率や位相差の制御域を定量的に評価することができ、また、光メタマテリアル形成技術において製作精度の向上に寄与することができた。①光学特性における製作誤差の影響評価光メタマテリアルが示す光学特性を十分に発揮するため、製作誤差の影響を評価することは応用上重要である。構造の寸法精度や形状精度、密着層の厚さやメタマテリアル構造の厚さ等の製作誤差に注目し、それぞれ評価した。②EITメタマテリアルにより生じる位相差の評価製作したEITメタマテリアルの光学特性が数値計算と良く一致したため、数値計算により位相差およびその光学異方性を評価した。また、屈折率の動的制御実現に向けて、透過係数と反射係数を測定する必要がある。そのため、マッハツェンダー干渉計を自作し、直径約100μm領域の透過位相と反射位相を測定できるシステムを開発した。これらは位相変調素子への応用に向けた重要な成果である。③光領域で応答するMEMS駆動型EITメタマテリアルの製作最終工程の犠牲層除去前までの製作方法を確立することができた。12nm以下の寸法精度でメタマテリアル部およびMEMS静電アクチュエータ部を形成した。また、メタマテリアルを含まない静電アクチュエータを製作し、36Vの電圧印加時に水平方向に97nmの変位が得られた。今後のMEMS駆動型メタマテリアルの実現において重要な基礎技術である。

The purpose of this study is to demonstrate the dependence of optical properties on optical properties, the precision position control of the micro-system, the active use of the MEMS optical system, the precision of the optical system, and the control of the discount rate. For the current year, 1 optical properties will be affected by the difference between 2EIT and optical properties, and the phase difference will be affected by the difference of optical properties. In the field of light, we should answer the question of MEMS dynamic EIT equipment. It is possible to determine the difference between the transmission rate and the accuracy of the system. The quantitative measurement of the transmission rate is based on the accuracy of the system and the accuracy of the system. 1 the optical properties show that the optical properties are very different from each other, and that the optical properties are very important. The accuracy of the shape of the inch method, the accuracy of the shape, the thickness of the shape, the accuracy of the shape, the thickness, the thickness, the 2EIT is used to calculate the phase difference of optical properties. The number of optical properties is calculated and the phase difference is calculated. The control of the movement of the discount rate is in the direction of the target, and the necessary conditions are determined by the number of reflection signals. The diameter of the instrument is about 100 μ m, and the diameter is about 100 μ m. The diameter of the instrument is about 100 μ m. In this paper, the phase is used to determine the importance of the results. 3. In the field of light, we should answer the question that the MEMS system is the most important part of the project. Before the removal of the equipment, we should make sure that it is necessary. 12nm below the precision of the inch method, the accuracy of the MEMS, the accuracy of the precision, the accuracy of the precision, the accuracy, the accuracy, the precision, the precision, the precision The operation of the equipment includes the operation of the 97nm in the horizontal direction of the 36V electronic India time. In the future, MEMS mobile devices will be able to realize the importance of important basic technologies.