Controlling of structure and mechanical properties of thin-film metallic glasses by ion bombardment of unbalanced magnetron sputtering

非平衡磁控溅射离子轰击控制薄膜金属玻璃的结构和力学性能

• 批准号: 26820309
• 负责人: Junpei Kobata
• 金额: $ 2.41万
• 依托单位: Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2014
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2014-04-01 至 2017-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26820309/
• 关键词: 表面処理; 金属ガラス; スパッタリング; イオンアシスト; 薄膜; アンバランスドマグネトロンスパッタ; ナノインプリント; アルゴン

项目成果

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UBMスパッタ法による金属ガラス薄膜の形成とその特性評価

UBM溅射法金属玻璃薄膜的形成及其特性评价

• 发表时间: 2015
• 作者: 小畠 淳平;三浦 健一;森河 務
• 通讯作者: 森河 務

Effects of Ar ion bombardment by unbalanced magnetron sputtering on mechanical and thermal properties of Ti-Cu-Zr-Ni-Hf-Si thin film metallic glass

• DOI: 10.1016/j.matdes.2016.09.005
• 发表时间: 2016-12
• 期刊: Materials & Design
• 影响因子: 8.4
• 作者: J. Kobata;Ken-ichi Miura

UBMS法により形成した金属ガラス薄膜の特性とナノインプリント成形

UBMS法与纳米压印成型金属玻璃薄膜的特性

• 发表时间: 2016
• 作者: 小畠淳平;三浦健一;網谷健児
• 通讯作者: 網谷健児

UBMスパッタ法により形成した金属ガラス膜の熱インプリント成形

UBM溅射法金属玻璃薄膜热压印成型

• 发表时间: 2014
• 作者: 小畠 淳平;三浦 健一;森河 務
• 通讯作者: 森河 務