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イオンビーム誘起増速エッチング法とマスクレス極微加工技術

イオンビーム誘起増速エッチング法とマスクレス極微加工技術
离子束诱导加速刻蚀方法及无掩模微加工技术
批准号：
57117004
负责人：
蒲生 健次
金额：
$1.73万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1982
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1982 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-57117004/
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電子および集束イオンビームを用いた磁性薄膜ナノ素子の加工プロセスと磁気特性の評価
  • 批准号：
    10130216
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
  • 资助金额：
    $1.34万
  • 财政年份：
    1998
  • 负责人：
    蒲生 健次
  • 依托单位：
    Osaka University
電子および集束イオンビームを用いた磁性薄膜のナノ加工と磁気特性の評価
  • 批准号：
    09236215
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $1.28万
  • 财政年份：
    1997
  • 负责人：
    蒲生 健次
  • 依托单位：
    Osaka University
低エネルギ集束イオンビーム注入による高移動度二次元電子ガスの選択形成
  • 批准号：
    06452220
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $3.07万
  • 财政年份：
    1994
  • 负责人：
    蒲生 健次
  • 依托单位：
    Osaka University
電子波デバイスのための極限構造の制御と評価
  • 批准号：
    04221102
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $27.52万
  • 财政年份：
    1992
  • 负责人：
    蒲生 健次
  • 依托单位：
    Osaka University