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ナノメートルリソグラフィー技術の研究

ナノメートルリソグラフィー技術の研究
纳米光刻技术研究
批准号:
57217028
负责人:
難波 進
金额:
$14.72万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份:
1982
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1982 至 --
关键词:

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メゾスコピック領域における電子波干渉効果
  • 批准号:
    04221105
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $4.8万
  • 财政年份:
    1993
  • 负责人:
    難波 進
  • 依托单位:
電子波エレクトロニクス
  • 批准号:
    04221104
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $25.6万
  • 财政年份:
    1992
  • 负责人:
    難波 進
  • 依托单位:
電子波エレクトロニクス
  • 批准号:
    03237105
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $32.0万
  • 财政年份:
    1991
  • 负责人:
    難波 進
  • 依托单位:
メゾスコピック領域における電子波干渉効果
  • 批准号:
    03237106
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $2.18万
  • 财政年份:
    1991
  • 负责人:
    難波 進
  • 依托单位: