Strömungskinematik in Hohlkathoden - Plasmajet - Entladungen für Oberflächenprozesse

在此基础上，我们将以技术为基础，从材料和工艺两个方面入手。他说：“我的意思是，这是一种同种的天然气，它的体积很大。”从安纳姆那里得到的是现实的终结。Sich？ndernden Lastzuständen(Beladung MIT Substrten and Generell der Geomrischen Skalierung.Mehr noch：ZielMu？sein，das gesamte plmassis system，wals die plmaerzeugenden Komponenten ALS子系统tenält，zu berück sichtigen)。在此基础上，提出了一种新的等离子体模拟方法--Gasströmung im Gesamesystem Sind Simultan Sind Sind Simultan Sind Simultan zu-berküchsichtigengengen.Am Beispiel einer im FMT entwickelten and Technology isch to en 13，56 MHz Holhlkathoden Placterndsichdsichgesrazelle(HCD-L-300)Sollen Erstzeitititig Prägritte in Diessier Richung，即Euminer fassenderen Feld and Ströggeggangen，um ebessere Bessere Bessere-Bessere Buckzeizeizeizeige Feld-Set Schritte(HCD-300)Sollen Erstzeitititig Präste Schritte，即Euminer fassenderen Feld and Strögmungegangen n o n在ArbeitsMethodischer Reihenfolge umfa？t die：1.实现了CFD-Programmpaketes(Fluent，Fa.流利公司，黎巴嫩，NH，美国)，2.Berück sichtigung原子和分子Gase(Strömungsverhalten and-geschwindigkeiten，Verweildauer der Spezies im system)和3.Korrelationder StrömungsSimulation MIT Ergebnissen Aus Feldrechnungen(Mafia，Fa.CST-Gesellschaft für Computer Simulationstechnik MBH，Darmstadt)。

Die Leistungsfähigkeit von Plasmaquellen für die Materialwissenschaft /-technologie wird nach heutigem Stand bevorzugt auf der Basis der elektrischen Leistungsbilanz bewertet. Dieses Vorgehen impliziert eine homogene Gasströmung bei gleichzeitig fester Residenzzeit von Primär-Gaspartikeln im plasmaanregenden Volumen. Eine derartige Annahme ist unzureichend und realitätsfern. Die daraus resultierenden Schwierigkeiten werden besonders deutlich bei sich ändernden Betriebsparametern der Quellen, sich ändernden Lastzuständen (Beladung mit Substraten und generell der geometrischen Skalierung.Mehr noch: Ziel muß sein, das gesamte Plasmasystem, welches die plasmaerzeugenden Komponenten als Subsystem enthält, zu berücksichtigen. Sowohl die elektrische Leistungskopplung mit dem Plasma als Last als auch die gleichzeitig präsente Druck- und Geometrie abhängige Gasströmung im Gesamtsystem sind simultan zu berücksichtigen.Am Beispiel einer im fmt entwickelten und technologisch relevanten 13,56 MHz Hohlkathoden Plasmajet-Plasmaquelle (HCD L-300) sollen erste Schritte in dieser Richtung, i.e. einer umfassenderen Feld- und Strömungssimulation gegangen werden, um eine bessere Basis für die Konzeption leistungsfähigerer Plasma- und Radikalenquellen bei gleichzeitiger Berücksichtigung des gesamtem Prozeßraumes in einem ausgedehnten Arbeitsdruckbereich zu erhalten. In arbeitsmethodischer Reihenfolge umfaßt dies: 1. Implementierung eines CFD-Programmpaketes (FLUENT, Fa. Fluent Inc., Lebanon, NH, USA), 2. Berücksichtigung atomarer und molekularer Gase (Strömungsverhalten und -geschwindigkeiten, Verweildauer der Spezies im System) und 3. Korrelation der Strömungssimulation mit Ergebnissen aus Feldrechnungen (MAFIA, Fa. CST-Gesellschaft für Computer Simulationstechnik mbH, Darmstadt).