Untersuchung von dielektrisch behinderten Oberflächenentladungen für den Einsatz als Remote-Plasmaquellen bei Atmosphärendruck

研究用作大气压下远程等离子体源的介电阻碍表面放电

• 批准号: 5426019
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jürgen Engemann
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Polymertechnologie
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2004
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2003-12-31 至 2006-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5426019?language=en
• 关键词: Untersuchung; von; dielektrisch; behinderten; Oberfl

Im Rahmen des Projektes sollen die Mechanismen der Generierung, des Transportes und der Verluste von energieübertragenden Spezies insbesondere von metastabilen Neutralen bei unterschiedlichen Konzepten dielektrisch behinderter Atmosphärendruck-Oberflächenentladungen systematisch untersucht werden. Besonderes Augenmerk liegt dabei auf deren Beitrag zu Atmosphärendruck"Remote"-Prozessen, die ein erhebliches technologisches Potential besitzen. Zunächst steht die Klärung des Einflusses von Elektrodengeometrie und der verwendeten Materialien im Vordergrund. In einem weiteren Schritt sind die prozessbestimmenden Quellenparameter zu untersuchen. Dazu zählt neben der Bereitstellung und Kontrolle der eingekoppelten elektrischen Leistung insbesondere die Gasmischung und die Gasströmung. Diese wiederum beeinflussen die Lebensdauer der Teilentladungen und damit letztlich die räumliche und zeitliche Ausbildung des angestrebten Atmosphärendruck-"Remote"-Plasmas. Die Charakterisierung der Entladungen erfolgt mit einer ICCD-Kamera, elektrooptischen Sonden und zeitaufgelösten Messungen der Spannungen und Ströme auf den Anregungselektroden.

Im Rahmen des Projektes sollen die Mechanismen der Generierung，des Transportes und der Verluste von energieübertragenden Spezies insbesondere von metastabilen Neutralen bei untermannedlichen Konzepten dielektrisch behinderter Atmosphärendruck-Oberflächenentladungen systematisch untersucht韦尔登.因此，Augenmerk将其安装在“Remote”-Prozessen的大气层上，这是一种潜在的技术。Zunächst steht die Klärung des Einflusses von Elektrodengeometrie und der verwendeten Materialien im Vordergrund.在任何时候，Schritt都是研究过程中的最佳参数。Dazu zählt neben der Bereitstellung und Kontrolle der eingekoppelten elektrischen Leistung insbesondere die Gasmischung und die Gasströmung. Diese wiederum beeinflussen die Lebensdauer der Teilentladungen und damit letztlich die räumliche und zeitliche Ausbildung des angestrebten Atmosphere ärendruck-“Remote”-Plasmas.该技术的特点是通过一个ICCD摄像机、光电传感器和测量传感器实现的。