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Großflächige Plasmaquellen mit Multijet-Hohlkathoden-Hochfrequenz-Entladung: Untersuchung, Modellierung und Simulation

多射流空心阴极高频放电大面积等离子体源：研究、建模和仿真

基本信息

批准号：
5123426
负责人：
Professor Dr.-Ing. Jürgen Engemann
金额：
--
依托单位：
Institut für Polymertechnologie
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
1998
资助国家：
德国
起止时间：
1997-12-31 至 2002-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5123426?language=en
关键词：
Gro fl chige Plasmaquellen mit

项目摘要

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项目成果

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批准号：
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--
项目类别：

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批准号：
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项目类别：
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