Monomer return flow in hollow cathode jet plasma sources for film deposition

用于薄膜沉积的空心阴极喷射等离子体源中的单体回流

• 批准号: 5403111
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jürgen Engemann
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Polymertechnologie
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2002-12-31 至 2005-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5403111?language=en
• 关键词: Monomer; return; flow; hollow; cathode

Das anwachsende Interesse an Plasmaprozessen zur Oberflächenmodifikation, Strukturierung und Schichtabscheidung erfordert zunehmend die intensive Optimierung der Plasmasysteme im Hinblick auf die Qualität der Behandlung und die Produktionsraten. Insbesondere bei der Hochraten-Schichtabscheidung beispielsweise von DLC-Schichten sind die Homogenität und die Reinheit der Schichten von entscheidender Bedeutung für die Güte der Behandlungs-ergebnisse. Die zufriedenstellende Verbesserung dieser Qualitätsmerkmale stellt bislang immer noch eine Herausforderung dar. Eine besondere Beachtung erfordert dabei das Strömungs- und Mischverhalten der am Plasmaprozess beteiligten Gase (Trägergas, Monomer). Hierbei können neben den Verunreinigungen der Schichten ebenfalls durch ungünstige Rückströmungseffekte Kontaminationen der Reaktorwände und nicht zuletzt der Plasmaquelle selbst auftreten.. Unterstützend zu bisherigen Strömungssimulationen werden daher experimentelle Methoden zur Visualisierung der Strömungen und zur Messung der Teilchengeschwindigkeiten notwendig, um die Beschichtungsanlagen strömungstechnisch optimieren zu können. Einige Diagnostikmethoden zur Bestimmung von Strömungs-geschwindigkeiten wie beispielsweise mit Gesamtdrucksonden (Prandtl-Rohr) oder mittels der Hitzestrahl-Anemometrie besitzen den Nachteil, dass sie invasive Techniken sind. Das Einbringen von Messinstrumenten in die Strömung kann sich gerade in der Plasmatechnik als ein großer Störfaktor erweisen, wobei zudem der unmittelbare Kontakt mit teilweise korrosiven Gasen zu Beschädigungen der Diagnostikinstrumente führt. In diesem Projekt wird die Methode der Laser-Doppler-Anemometrie (LDA) angestrebt, die den entscheidenden Vorteil bietet, die Teilchengeschwindigkeiten rein optisch und daher berührungslos messen zu können. Das Prinzip der LDA-Technik beruht auf der Doppler-Frequenzverschiebung von kohärenten Lichtwellen, die an bewegten Phasengrenzflächen gestreut werden.

这是一个对Plasmaprozessen zur Oberflächenmodifikation，Strukturierung和Schichtabscheidung感兴趣的问题，它要求对Hinblick的Plasmasysteme进行强化优化，以提高操作质量和生产率。在Hochraten-Schichtabscheidung beispielsweise von DLC-Schichten的基础上，均匀性和Schichten的Reinheit von entscheidender Bedeutung für die Güte der Behandlungs-ergebnisse。质量保证体系的建立将使我们的目标更加明确。Eine besondere Beachtung erfordert dabei das Strömungs- und Mischverhalten der am Plasmaprozess beteiligten Gase（Trägergas，München）. Hierbei können neben den Verunreinigungen der Schichten ebenfalls durch ungünstige Rückströmungseffekte Kontaminationen der Reaktorwände und nicht zuletzt der Plasmaquelle selbst auftreten..通过韦尔登的实验方法，可以得到更好的Strömungssimulationen Strömungsstechnisch optiieren。一种诊断Strömungs-geschwindigkeiten的方法，如使用Gesamtdrucksonden（Prandtl-Rohr）或Hitzestrahl-Anemometrie的方法，可以在夜间进行，因为它们是侵入性技术。Das Einbringen von Messinstrumenten in die Strömung kann sich gerade in der Plasmatechnik als ein großer Störfaktor erweisen，wobei zudem der unmittelbare Kontakt mit teilweise korrosiven Gasen zu Beschädigungen der Diagnostikinstrumente führt.在本项目中，将采用激光多普勒风速仪（LDA）测量方法，该方法包括两个涡量测量、一个光学测量和一个径向测量。激光多普勒测速技术的原理是通过多普勒频移测量光信号，从而得到一种新的相位测量方法韦尔登。