Ortsaufgelöste Stromdichte-/Energieverteilungsanalyse in einem reaktiven Niederenergie-Ionenstrahl großen Querschnittes

大截面反应性低能离子束的空间分辨电流密度/能量分布分析

• 批准号: 5209588
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Jürgen Engemann
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Polymertechnologie
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1995
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1994-12-31 至 2003-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5209588?language=en
• 关键词: Ortsaufgel; ste; Stromdichte; Energieverteilungsanalyse; einem

Eine Zweigitter-Ionenextraktionsoptik großen Querschnitts aus Silizium wurde entwickelt. Anstelle der bisher verwendeten Hochfrequenzplasmaquelle kam zur Plasmaerzeugung eine ECR_Mikrowellenplasmaquelle nach dem Schlitzantennenprinzip zum Einsatz, die eine bessere Hochskalierung erlaubt. Nach Umbau dieser Quelle und Adaption der Extraktionsoptik wurden Argon- und reaktive Sauerstoffionenstrahlen untersucht. Die Stromdichte konnte quantitativ räumlich aufgelöst aufgenommen und die Divergenzeigenschaften bestimmt werden. Ebenso wurden die Energieverteilungen und die Plasmaeigenschaften während des Ionenquellenbetriebs vermessen. Im hier vorgeschlagenen Folgeprojekt soll zur quantitativen Vermessung kleiner Siliziummengen die hochempfindliche Cavity-Ringdown-Spectroscopy (CRDS) als neue Diagnostikmethode zur Anwendung kommen. In einem ersten Schritt ist daher das Sputtern von reinem Silizium mit Hilfe der neuen Ionenstrahlquelle zu untersuchen. Sodann soll CRDS optimiert werden, um dann eine quantitative Bestimmung der Ionenstrahlkontamination mit Silizium vorzunehmen. Schließlich wird der Sputterabtrag von Quarz mittels CRDS vermessen. Die zusätzliche Herausforderung bei nichtleitenden Targets besteht darin, eine effektive Neutralisierung des Ionenstrahls zu erzielen, was durch alternierende Pulsung der Extraktionsgitterspannungen erreicht werden soll.

zweigiter - ionenextraktionsoptik großen Querschnitts aus Silizium wurde entwickelt。[参考文献]等离子体共振共振共振共振共振共振共振共振共振共振共振共振共振共振共振。[1] [1] [1] [1] [1] [1] [2] [1] [4]研究方向：基因组定量研究räumlich aufgelöst与遗传多样性研究。电动力学与等离子体特征分析während电动力学与电动力学。在此基础上，提出了一种新的诊断方法——空腔环荡光谱法（CRDS）。在einem ersten Schritt，他的父亲，在溅射的研究中，他的父亲，在新的Ionenstrahlquelle的研究中，他的父亲。Sodann - soll - CRDS优化方法的研究，以及对硅离子污染的定量评价。schließ ßlich wnd Sputterabtrag von quartz mittels CRDS vermessen。摘要/ abstract摘要：zusätzliche Herausforderung bei nichtleitenden目标的最佳选择，即有效中性化（enstrahls）和有效中性化（enenstrahls）的最佳选择，是一种有效中性化（Pulsung - der Extraktionsgitterspannungen）的最佳选择。