Untersuchungen zur Anwendung von c-BN-Filmen in der Rastersondenmikroskopie - Charakterisierung der mechanischen und elektrischen Eigenschaften von c-BN-Schichten

Ziel dieses Vorhabens ist die Anwendung von c-BN-Schichten in der Mikrosystemtechnologie，insbesondere für Sonden für die Rastersondenmikroskopien.这种方法的成功，主要是由于在非平面衬底上对c-BN进行剥离的技术，从而使c-BN-Schichten的结构得到韦尔登。这种韦尔登从一个umfassenden特性的c-BN薄膜被züglich其机制和elektrischen Eigenschaften begleitet，该letztlich zu一个Schichtoptimierung im Hinblick auf die geplanten Anwendungen führen soll。

Ziel dieses Vorhabens ist die Anwendung von c-BN-Schichten in der Mikrosystemtechnologie, insbesondere für Sonden für die Rastersondenmikroskopien. Um dieses Ziel zu erreichen, soll im Bereich der Technologie vor allem die Abscheidung von c-BN auf nicht-planaren Substraten (insbesondere Spitzen) sowie die Strukturierung von c-BN-Schichten untersucht werden. Diese Arbeiten werden von einer umfassenden Charakterisierung von c-BNFilmen bezüglich ihrer mechanischen und elektrischen Eigenschaften begleitet, die letztlich zu einer Schichtoptimierung im Hinblick auf die geplanten Anwendungen führen soll.