非晶質薄膜の気相合成と構造解析

非晶薄膜的气相合成及结构分析

基本信息

  • 批准号:
    61550567
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 0.9万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    1986
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    1986 至 无数据
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

気相合成により作製された非晶質薄膜は、IC,センサーなど広い応用面をもち、その物性と構造の関係が注目されている。薄膜の構造解析には電子線回析が適しているが、基板に固着したままでは測定できない。X線回析には試料が薄すぎる場合が多いが、薄膜用アタッチメント(TFD装置)を取り付けることにより、普通のX線回析装置で基板に固着したままの薄膜の測定が可能となる。これは低い入射角で薄膜試料にX線を当て、受光系のみをスキャンする形で回析パターンを測定するものである。この方法はまだ測定データの規格化などデータ処理の方法が確立していない。光学系を綿密に解析して強度曲線を規格化する式を導き出し、実測曲線に適用したところ、通常の2θ-θディフラクトメーター法で測定した強度と完全に一致する強度を得ることが出来た。このTFD方式で測定を行えば、通常の2θ-θディフラクトメーター法での測定と比し、1/10〜1/20薄い薄膜試料の回析を基板の影響を受けることなく測定できる。この方法の応用として、エレクトロクロミック素子として注目されている非晶質【WO_3】薄膜を取り上げた。この薄膜を2種の方法で作成し、TFD法による測定を行い、その構造を解析した。一つは抵抗加熱法により作成した厚さ8.5μmの淡青色の蒸着膜、他は電子ビーム法により作成した厚さ5.38μmの無色透明の蒸着膜で、共に非晶質である。構造解析は当研究室で開発したpair function法を用いた精度の高い方法で行った。その結果抵抗加熱法で作製した試料は7個の【WO_6】八面体の周囲を12個の【WO_4】四面体がとり囲んだ球状分子の集合体であることが分った。一方電子ビーム法で作製した試料は、【WO_6】八面体の三次元ネットワークの一部を【WO_4】ユニットが置換した構造をとっている。このように非晶質薄膜は、その製法により、物性だけではなく、構造もかなり異なることが明らかになった。
Phase synthesis is used to prepare amorphous thin films, IC, thin films, and so on. Thin film fabrication, analysis, analysis and analysis. X-ray analysis of the material, the thin film, the thin film, the TFD device, the common X-ray analysis device, the substrate, the film, the film. The low incident angle thin film material is X-ray, and the light system is used to analyze the shape of the film. The method determines that the system is standardized and the method makes sure that the system is correct. The Department of Optics is responsible for the analysis and standardization of the strength curve, which is based on the standard method, which is usually measured by the method of 2 θ-θ. The strength is completely consistent. The TFD method is used to determine the performance of the substrate, which is usually measured by the method of 2 θ-θ, 1, 10, 1, 20, 10, 10, and 20 thin film. The method is to use the thin film of amorphous [WO_3] to remove the thin film from the thin film. The thin film was made by two methods, the TFD method was used to determine the line, and the analytical method was used to analyze the film. A thin film with a thickness of 8.5 μ m and a light cyan film with a thickness of 8.5 μ m, and a thin film with a thickness of 5.38 μ m and a color-free transparent film with a thickness of 5.38 μ m and a total thickness of 5.38 μ m are obtained by using a thin film of 8.5 μ m and light cyan, respectively. In the laboratory, the pair function method is used to improve the accuracy and accuracy of the method. Results the anti-addition method was used to analyze 7 samples of [WO_6] octahedral molecules and 12 samples of [WO_4] tetrahedral molecules. One side of the computer system is used to make materials, [WO_6] octahedral three-dimensional data sets, and [WO_4] data sets are used to make data sets. In this paper, the amorphous thin film, the physical properties, the physical properties and the physical properties of the amorphous film are studied.

项目成果

期刊论文数量(1)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
T.Nanba;I.Yasui: Proceeding of Second International Conference on the Effect of Modes of Formation on the Structure of Glasses. 2. (1987)
T.Nanba;I.Yasui:第二届关于形成模式对玻璃结构影响的国际会议论文集。
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

安井 至其他文献

科学研究費による環境科学の歩みと「人間地球系」の研究
  • DOI:
    10.11353/sesj1988.11.79
  • 发表时间:
    1998-02
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    安井 至
  • 通讯作者:
    安井 至

安井 至的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

{{ truncateString('安井 至', 18)}}的其他基金

「人間地球系」-人類生存のための地球本位型社会の実現手法
“人地体系”——实现人类生存的地球社会的方法
  • 批准号:
    05278106
  • 财政年份:
    1998
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
特許など知的所有権の大学における現状およびその有効活用法に関する総合的研究
全面研究高校专利等知识产权的现状及如何有效利用
  • 批准号:
    08300008
  • 财政年份:
    1997
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
「人間ー地球系」ー人間生年のための地球本位型社会の実現手法
“人地体系”——人类实现地球型社会的方法
  • 批准号:
    04353016
  • 财政年份:
    1992
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Co-operative Research (B)
金属ホウ化物または窒化物ーガラス系厚膜抵抗体の合成とその物性
金属硼化物或氮化物玻璃厚膜电阻的合成及其物理性能
  • 批准号:
    02650553
  • 财政年份:
    1990
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
重金属元素を含む非晶質の中性子回折による構造解析
中子衍射法分析含重金属元素的非晶材料的结构
  • 批准号:
    62550558
  • 财政年份:
    1987
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
液体急冷法による準安定機造をもつセラミックス薄膜の生成機構の構造化学的研究
液体淬火法亚稳态陶瓷薄膜形成机理的结构化学研究
  • 批准号:
    57550474
  • 财政年份:
    1982
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
ガラスにおける圧浪の生成過程の有限要素法による研究
玻璃中压力波形成过程的有限元研究
  • 批准号:
    X00210----975380
  • 财政年份:
    1974
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)

相似海外基金

Development of Deep Eutectic Electrochromic Ionic Liquids Formed by Charge-Transfer Interaction and Its Application to Display Devices
电荷转移相互作用形成的深共晶电致变色离子液体的研制及其在显示器件中的应用
  • 批准号:
    23H01937
  • 财政年份:
    2023
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Precise morphological control of silver nanoparticles induced by reversible electrodeposition and its application to innovative color display system
可逆电沉积诱导银纳米粒子的精确形态控制及其在创新彩色显示系统中的应用
  • 批准号:
    22H02154
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
優れたスマートウインドウ機能を有するニュートラルカラーを示す調光材料の開発
开发具有优异智能窗功能的中性色光控材料
  • 批准号:
    22K05051
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
酸化還元活性イオン液体を用いた無希釈・無溶媒系ECデバイスの開発
使用氧化还原活性离子液体开发免稀释和无溶剂 EC 装置
  • 批准号:
    22K05258
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Flexible control of covalent bonds based on redox-active highly strained compounds
基于氧化还原活性高应变化合物的共价键的灵活控制
  • 批准号:
    21H01912
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
高位置分解水素モニタリングによる鉄鋼材料への水素侵入機構の解明
通过高位分解氢监测阐明氢侵入钢材的机理
  • 批准号:
    21H01665
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Development of electrochemical hydrogen charge method and exploration of hydride superconductivity
电化学充氢方法发展及氢化物超导探索
  • 批准号:
    21K18892
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
Development and Application of Azulene-Fused Polycyclic Aromatic Compounds Exhibiting Characteristic Optical Properties
具有特征光学性质的甘菊环稠合多环芳香族化合物的开发与应用
  • 批准号:
    21K05037
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Electrochemical control of excitation states of luminescent lanthanide compounds
发光镧系化合物激发态的电化学控制
  • 批准号:
    20K05641
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Development of electrochromic devices with high durability, high coloration efficiency and high memory indication
开发高耐久性、高显色效率、高记忆指示的电致变色器件
  • 批准号:
    20K05649
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    $ 0.9万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了