Beeinflussung des SiGe-Insel-Wachstums durch modifizierte Substrate und Weiterentwicklung der Charakterisierung von SiGe-Inseln mittels diffuser Röntgenstreuung

通过修改衬底影响 SiGe 岛的生长，并利用漫射 X 射线散射进一步开发 SiGe 岛的表征

• 批准号: 5221400
• 负责人: Professor Dr. Rolf Köhler
• 金额: --
• 依托单位: Leibniz-Institut für Kristallzüchtung (IKZ)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2004-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5221400?language=en
• 关键词: Beeinflussung; des; SiGe; Insel; Wachstums

SiGe-Inseln können auf Silizium-Substrat mittels LPE gezüchtet werden, wobei recht homogene Größen- und Positionsverteilung erreicht wird. Die Inselgröße liegt aber mindestens um den Faktor 3 oberhalb jener ca. 10 nm Größe, bei der Quanteneffekte einsetzen würden. Ziel des vorliegenden Projekts ist es, durch die gezielte Einstellung von bestimmten Morphologien oder Spannungsverteilungen an der Substratoberfläche geringere Inselgrößen zu erzielen. In diesem Sinne sind Wachstumsexperimente auf einer Reihe unterschiedlich modifizierter Substrate geplant, deren Oberflächenmorphologie z.B. Stufenbündel (Fehlschnitt) bzw. Gleitstufen (plastisch relaxierte Zwischenschicht) usw. ausweist.Für eine gezielte Beeinflussung ist aber ein genaueres Verständnis der Inselnukleation erforderlich. Daher sind auch Wachstumsexperimente geplant, die bestimmte Aspekte der Inselnukleation erhellen sollen. Für diese Analyse der Nukleation ist eine präzise Bestimmung der elastischen Deformation in den Inseln und deren Umgebung erforderlich. Diffuse Röntgenstreuung soll dafür eingesetzt werden, was erhebliche Anstrengungen zur methodischen Weiterentwicklung bezüglich des Meßverfahrens und vor allem bezüglich der Datenauswertung erfordert.

Sige-InselnKönnenauf silizium-substrat手套lpegezüchtetWerden，Wobei RechtHoldogeneGrößen-und positionsvertesverteilung erreicht wird。 DieInselgrößeLiegtAber Mindestens um den faktor 3 Oberhalb Jener ca。 10nmGröße，bei der derneNefekte einsetzenwürden。 Ziel des Vorliegenden Projekts Ist es，Durch Die gezielte Einstellung von bestimmten morphologien oder oder在变电站后宣布了Spannungsvertiser，而Modificizizierter substrate geplant geplant，B.Stufenbündel（Fehllschnitt）B.Stufenbündel（fehlschnitt）B. gleitstufen（Plastisch laseerte Zwischenschicht）USW。澳大利亚人。 füreinegezielte beeinflussung ist aber ein Genauresverständnisder inselnukleation erforderlich。 Daher Sind Auch wachstumsexperimente geplant，死亡的bestimmte aspekte der inselnukleation erhellen sollen。 fürdiese分析了nukleation ist einepräzisebestimmung der弹性弹性弹性，并在den inseln unseln und deren umgebung erforderlich中变形。散布röntgenstreuungdafürEingesetztwerden是Erhebliche Anstrengungen Zur Methodchen weiterentwicklungbezüglicheountemßmeßverfahrensunderembeousßverfahrensunderement vor allembezüglichbezüglichdatenauswernuswertung erfordert。