凝縮型真空槽の研究

冷凝式真空室的研究

• 批准号: 63550127
• 负责人: 南部 健一
• 金额: $ 0.45万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1988
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1988 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-63550127/
• 关键词: クライオポンピング; 希薄気体; 凝縮; モンテカルロ法

真空チャンバー内の背圧を下げる方法の一つに、チャンバー内に極低温の金属板から成るデバイスを設置し分子を凝縮させて捕獲するコールドトラップがある。我々は本研究において、断面形状がコの字型の3枚のプレートから成るデバイスを提案した。2枚は液体窒素で80Kに冷却されており分子の速度を減速させる働きをする。残りの1枚は液体ヘリウムで20Kに冷却されており分子を凝縮させる役目をする。デバイスをこのようにするのは、分子線の速度は超音速のため直接20Kの壁に入射させてもトラップされる確率は低いと考えられること、および高価な液体ヘリウムを使用するより安価な液体窒素を用いて冷却した80Kの壁に分子をまず入射させ、そこで速度を一旦減速させてから20Kの壁面で確実に分子をトラップしてしまおうという考えに基づいている。本研究では、上記の二次元デバイスに流入してくる分子の流れを直接シミュレーション・モンテカルロ法を用いて解析し、種々の条件に対する凝縮性能を調べた。その結果、分子間衝突が凝縮に大きな役割をはたしており、デバイス内での分子間衝突がさかんになるようにデバイスのサイズ等を決めれば良いことがわかった。具体的には、温度20Kのプレートを出来るだけ長くとり、プレート間のギャップを小さくし、デバイスをできるだけ気圧密度の大きい所に置けば凝縮性能が上がり、チャンバー内の背圧を下げるのに高価的であるということを明らかにした。この研究で得たデータはコールドトラップのみで真空排気を行う新しい方式の真空槽の開発に資する貴重なデータとなるものと考えられる。研究成果は米国で開催された国際シンポジウムで発表した。

In the vacuum system, the temperature of the metal plate is very low. In the vacuum system, the temperature of the metal plate is very low, and the temperature of the metal plate is very low. In this study, the shape of the cross-section, the shape, the shape, the 2 liquid asphyxiant 80K, cooling temperature, molecular velocity, speed, temperature, temperature and temperature. The residue is 1 liquid, 20K, cooling, molecular, condensing, serving the purpose. The speed is very high, the speed is supersonic, the molecular speed is supersonic, the molecular speed is 20K, the wall incidence is 20K, the wall incidence is 20K, the incidence is low, the liquid is high, the liquid asphyxiant is used, the cooling is 80K, the wall molecule is incident, Once the speed is changed, the 20K wall is sure to make sure that the molecule is clear. In this study, two-dimensional and two-dimensional molecular flow was used in this study. In this study, two-dimensional and two-dimensional molecular flow was used in this study. in this study, two-dimensional and two-dimensional molecular flow was used in this study. in this study, two-dimensional and two-dimensional molecular flow was used in this study. The results of the results, the molecular structure, the results, the results and the results. The specific temperature, temperature 20K, temperature, temperature, temperature and temperature. According to the results of the study, there is a new way to improve the performance of the vacuum tank, which can be used in the vacuum tank. The results of the research are expected to be reviewed by the United States and the United States.

项目成果

K.Nanbu;Y.Watanabe;S.Igarashi: Proceed ings of the 16th International Symposiu m Rarefied Gas Dynamics. (1989)

K.Nanbu；Y.Watanabe；S.Igarashi：第 16 届国际稀有气体动力学研讨会论文集。

南部健一,渡部安雄,五十嵐三武郎: 日本機械学会論文集 (B編). (1989)

Kenichi Nanb​​u、Yasuo Watanabe、Sanburo Igarashi：日本机械工程师学会会议录（B 版）（1989 年）。