Mikromechanische und elektronische Diamantanwendungen: Untersuchung von Passivierungsmethoden zur Verbesserung der chemischen und elektronischen Stabilität von CVD-Diamantschichten sowie Exploration der Phosphordotierung von Diamant

我是Rahman der Formediian Kooperation Sollen die Electrktronischen and mikromachischen Eigenschaften von CVD-Diamantschichten soweit Optimiden，daçsie die base für den einatz in den AnwendungsFeldern MedizinTechnik，UV-Photosensorik and ElektroChemie bilden können。如果你不是所有人都知道的，那么你就会发现，你所做的一切都是最好的选择，这是一种非常好的方法和方法，它可以帮助你更好地适应世界经济的发展。我们对等离子体的氢化物、氧化和氟化物进行了分析；分析了光电子技术的基本原理和方法，并对其进行了分析。在此基础上，对其进行了定量研究，并对其进行了优化。我们的合作伙伴都有自己的特点。

Im Rahmen der FORMEDIAN Kooperation sollen die elektronischen und mikromechanischen Eigenschaften von CVD-Diamantschichten soweit optimiert werden, daß sie die Basis für den Einsatz in den Anwendungsfeldern Medizintechnik, UV-Photosensorik und Elektrochemie bilden können. Für die zwei erstgenannten Anwendungsfelder sind dabei zum einen der Einsatz von hochorientierten Diamantschichten in der Mikrochirurgie und zum anderen die Realisierung eines UV-Spektraldetektors zur Quecksilberanalyse ins Auge gefaßt.Einen Schwerpunkt des Erlanger Teilprojekts bildet die Untersuchung der Oberflächeneigenschaften der zu optimierenden CVDDiamantschichten mit bereits vorhandenen Methoden und die Entwicklung geeigneter Passivierungsverfahren, mit denen ihre chemische und elektronische Stabilität im Hinblick auf die drei Anwendungsfelder verbessert werden soll. Präparativ werden dabei plasmachemische Verfahren zur Hydrierung, Oxidation und Fluorierung eingesetzt; analytisch kommen die bei uns etablierten Methoden der Photoelektronenspektroskopie und Messungen der Photo- und Dunkelleitfähigkeit zum Einsatz.Einen zweiten Schwerpunkt unseres Teilprojektes bildet die Implementierung der Phosphor-Dotierung in einem bei uns entwickelten Mikrowellen/Heißdraht-Hybridprozeß mit dem Ziel, nleitende, hochorientierte Diamant-CVD-Schichten herzustellen. Der Einbau von Phosphor soll dabei quantitativ mit SIMS-Messungen verfolgt und optimiert werden, die als Fremdleistungen gegen Vergütung in die Kooperation eingebracht werden. Die elektrische Charakterisierung erfolgt durch einen der Kooperationspartner.