Mikromechanische und elektronische Diamantanwendungen: Untersuchung von Passivierungsmethoden zur Verbesserung der chemischen und elektronischen Stabilität von CVD-Diamantschichten sowie Exploration der Phosphordotierung von Diamant

微机械和电子金刚石应用：研究提高CVD金刚石层化学和电子稳定性的钝化方法以及金刚石磷掺杂的探索

• 批准号: 5236066
• 负责人: Professor Dr. Lothar Ley
• 金额: --
• 依托单位: Lehrstuhl für Technische Physik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5236066?language=en
• 关键词: Mikromechanische; und; elektronische; Diamantanwendungen; Untersuchung

Im Rahmen der FORMEDIAN Kooperation sollen die elektronischen und mikromechanischen Eigenschaften von CVD-Diamantschichten soweit optimiert werden, daß sie die Basis für den Einsatz in den Anwendungsfeldern Medizintechnik, UV-Photosensorik und Elektrochemie bilden können. Für die zwei erstgenannten Anwendungsfelder sind dabei zum einen der Einsatz von hochorientierten Diamantschichten in der Mikrochirurgie und zum anderen die Realisierung eines UV-Spektraldetektors zur Quecksilberanalyse ins Auge gefaßt.Einen Schwerpunkt des Erlanger Teilprojekts bildet die Untersuchung der Oberflächeneigenschaften der zu optimierenden CVDDiamantschichten mit bereits vorhandenen Methoden und die Entwicklung geeigneter Passivierungsverfahren, mit denen ihre chemische und elektronische Stabilität im Hinblick auf die drei Anwendungsfelder verbessert werden soll. Präparativ werden dabei plasmachemische Verfahren zur Hydrierung, Oxidation und Fluorierung eingesetzt; analytisch kommen die bei uns etablierten Methoden der Photoelektronenspektroskopie und Messungen der Photo- und Dunkelleitfähigkeit zum Einsatz.Einen zweiten Schwerpunkt unseres Teilprojektes bildet die Implementierung der Phosphor-Dotierung in einem bei uns entwickelten Mikrowellen/Heißdraht-Hybridprozeß mit dem Ziel, nleitende, hochorientierte Diamant-CVD-Schichten herzustellen. Der Einbau von Phosphor soll dabei quantitativ mit SIMS-Messungen verfolgt und optimiert werden, die als Fremdleistungen gegen Vergütung in die Kooperation eingebracht werden. Die elektrische Charakterisierung erfolgt durch einen der Kooperationspartner.

在FORMEDIAN合作解决了CVD-金刚石的电子和微机械特性的最佳韦尔登，这是在Anwendungsfeldern Medizintechnik，UV-光敏和电化学培养方面的基础。两种方法都是在显微外科手术中对金刚石进行高分辨力的测量，并在显微镜下对紫外光谱进行定量分析。采用埃尔朗格的光学成像方法对金刚石进行优化，并采用无源光散射的方法对金刚石的光学特性进行了研究。使其在Hinblick上的化学和电子稳定性达到韦尔登所要求的水平。准备韦尔登等离子体发射用于氢化、氧化和氟化;分析了现有的光电光谱法和测量方法，并进行了测量。一个两层的测量点用于在一个具有Ziel、nleitende、hochorientierte Diamant-CVD-Schichten herzustellen的微波炉/Heißdraht-Hybridprozeollen中实现磷掺杂。磷光体的结构可以用SIMS-Messungen verfolgt和优化韦尔登进行定量，在韦尔登的合作过程中，这些磷光体可以被测量。电气特性通过一个合作伙伴来实现。