Chemie, Struktur und Eigenschaften von Laser-CVD-Silicium

激光CVD硅的化学、结构和性能

• 批准号: 5236578
• 负责人: Professor Dr. Herbert Stafast
• 金额: --
• 依托单位: Leibniz-Institut für Photonische Technologien (IPHT)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1995-12-31 至 1999-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5236578?language=en
• 关键词: Chemie; Struktur; und; Eigenschaften; von

Das grundlegende Verständnis von Zusammenhängen zwischen der Gasphasenchemie von sauerstoffhaltigen Siliciumverbindungen HxSiyOz und der Entstehung von Festkörpern durch Bildung von Si-Si- und Si-O-Bindungen soll durch experimentelle Untersuchungen vertieft werden. Als Modell soll die laserinduzierte Gasphasenchemie von H-Silasesquioxanen (HSiO1,5)n dienen, wobei die möglichen Verknüpfungen von Silasesquioxan-Molekülen als Elementarschritte für die dreidimensionale Netzwerkbildung angesehen werden. Speziell sollen photochemische Primärschritte in Abhängigkeit von der Anregungswellenlänge ermittelt und zur Steuerung der Vernetzung genutzt werden. Hierfür sollen die UV- und Vakuum-UV-spektralen Eigenschaften der H-Silasesquioxane (HSiO1,5)n für n = 4,6,8,...16 untersucht werden.

Das grundlegende Verständnis von Zusammenhängen zwischen der Gasphasenchemie von sauerstoffhaltigen siliciumbindungen HxSiyOz und der Entstehung von Festkörpern durch Bildung von Si-Si- und Si-O-Bindungen soll durch experimentelle Untersuchungen vereft werden。Als莫德尔soll后死laserinduzierte Gasphasenchemie冯H-Silasesquioxanen (HSiO1, 5) n dienen wobei死moglichen Verknupfungen冯Silasesquioxan-Molekulen Als Elementarschritte毛皮死dreidimensionale Netzwerkbildung angesehen了。Speziell solen光化学Primärschritte in Abhängigkeit von der Anregungswellenlänge ermittelt and zur Steuerung der Vernetzung genutzt werden。h -硅氧烷（hsio1,5）n fr n = 4,6,8，…16 .不受约束的行为。