Planare mm-Wellen-Strukturen zur Beschleunigung von Elektronen

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...Die dritte Phase, für welche die beantragte Unterstützung benötigt wird, soll sich auf die Herstellung von Strukturen mit LIGA und deren meßtechnische Verifizierung konzentrieren. Die Konzentration hat zwei Gründe. Nach Wissen des Antragstellers erfüllen nur WEDM und LIGA die geforderte Genauigkeit von 1 - 3 µm. Bei WEDM ist eine Sandwichbauweise nötig, bei der es noch keine Aussicht auf ein befriedigendes Lötverfahren gibt. Im Falle von LIGA sind wir in der einmaligen Situation, durch Zusammenarbeit mit einem neuberufenen Kollegen (Prof. Lehr, Fachgebiet Feinwerktechnik und Mikromechanik) freien Zugang zu einer LIGA Linie bei BESSY II, Berlin-Adlershof, zu haben. Dadurch reduzieren sich die hohen Kosten bei LIGA auf die Herstellung der Masken und Verbrauchsmaterial für die Galvanik. Vorgesehen ist der Bau einer Laufwellenstruktur und einer sogenannten "on-axis-coupled" Stehwellenstruktur. Beide Strukturen sind bereits entworfen und durch skalierte Modelle verifiziert. Die Strukturen sollen mit LIGA gefertigt werden und die HF-Parameter gemessen werden. Anschließend sollen sie vakuumdicht gelötet und mit Ports versehen werden. Schließlich ist ein Test mit hoher Leistung im SLAC geplant.