Planare mm-Wellen-Strukturen zur Beschleunigung von Elektronen

... Ditte Phase，für welche die beantragte Unterstützung benötigt wird，soll sich auf die Herstellung von Strukturen mit LIGA und deren meßtechnische Verifizierung konzentrieren.这个会议中心有两个绿色的。在1 - 3 µm的线切割和LIGA加工中，线切割是一种三明治结构，但它也不是一种友好的工具。在LIGA的失败中，我们处于一种不利的局面，通过与一位新的专家Kollegen（Lehr教授，Fachgebiet Feinwerktechnik和Mikromechanik）免费合作，在柏林-阿德勒霍夫的BESSY II上建立了一个LIGA线。在LIGA上的Kosten hohen didn't reduzieren sich sich die hohen bei LIGA auf die Herstellung der Masken and Verbrauchsmaterial for die Galvanik.它是一种Laufwellenstruktur和一种“同轴耦合”Stehwellenstruktur。该结构是有效的，并通过可靠的模型验证。该结构解决了LIGA的韦尔登和HF参数的韦尔登。我们必须让他们离开并带着港口离开韦尔登。Schließlich is an Test mit hoher Leistung im SLAC geplant.

...Die dritte Phase, für welche die beantragte Unterstützung benötigt wird, soll sich auf die Herstellung von Strukturen mit LIGA und deren meßtechnische Verifizierung konzentrieren. Die Konzentration hat zwei Gründe. Nach Wissen des Antragstellers erfüllen nur WEDM und LIGA die geforderte Genauigkeit von 1 - 3 µm. Bei WEDM ist eine Sandwichbauweise nötig, bei der es noch keine Aussicht auf ein befriedigendes Lötverfahren gibt. Im Falle von LIGA sind wir in der einmaligen Situation, durch Zusammenarbeit mit einem neuberufenen Kollegen (Prof. Lehr, Fachgebiet Feinwerktechnik und Mikromechanik) freien Zugang zu einer LIGA Linie bei BESSY II, Berlin-Adlershof, zu haben. Dadurch reduzieren sich die hohen Kosten bei LIGA auf die Herstellung der Masken und Verbrauchsmaterial für die Galvanik. Vorgesehen ist der Bau einer Laufwellenstruktur und einer sogenannten "on-axis-coupled" Stehwellenstruktur. Beide Strukturen sind bereits entworfen und durch skalierte Modelle verifiziert. Die Strukturen sollen mit LIGA gefertigt werden und die HF-Parameter gemessen werden. Anschließend sollen sie vakuumdicht gelötet und mit Ports versehen werden. Schließlich ist ein Test mit hoher Leistung im SLAC geplant.