Untersuchung und Weiterentwicklung von Closed-Looped-Einstartregeln für Halbleiterfertigungsanlagen

半导体制造系统闭环启动规则的研究和进一步发展

• 批准号: 5256876
• 负责人: Professor Dr. Oliver Rose
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Technische Informatik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2000-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5256876?language=en
• 关键词: Untersuchung; und; Weiterentwicklung; von; Closed

Halbleiterfertigungsanlagen gehören zu den komplexesten Fabriken. In der Regel besteht eine Halbleiterfabrik aus mehreren hundert Maschinen. Die meisten Chiptypen benötigen bis zu fünfhundert Prozeßschritte. Zur Maximierung des Fabrikdurchsatzes bei gleichzeitiger Einhaltung der Liefertermine für die jeweiligen Produkte sind Steuerungsmechanismen nötig, die die fabrikinterne Logistik regeln. Abfertigungsregeln legen fest, welches an einer Maschine wartende Los nach Freiwerden der Maschine als nächstes bearbeitet wird. Einstartregeln bestimmen, zu welchem Zeitpunkt ein unbearbeitetes Los in die Fabrik eingestartet wird. Diese Einstartvorgänge werden im Augenblick meist statisch mittels Produktionsplänen durchgeführt. Es liegt jedoch auf der Hand, daß bei Kapazitätsproblemen frisch eingestartete Lose eher den Produktionsfluß behindern. Aus diesem Grund werden seit einiger Zeit dynamische Einstartregeln diskutiert, bei denen der Einsatzstartzeitpunkt vom Fabrikzustand abhängt. Man spricht von Closed-Loop-Einstartregeln, da basierend auf Rückmeldungen aus der Fabrik eingestartet wird. Wegen der Komplexität der Fabrik ist aber bisher unklar welche Meßgröße(n) sich am besten als Kontrollvariable für die Closed-Loop-Steuerung eignen.Der Antragsteller beabsichtigt in Zusammenarbeit mit Prof. Hohn Fowler der Arizona State erfolgversprechende Kontrollvariable auszuwählen, entsprechende Einstartstrategien in Simulationsmodelle von realen Fabrikmodellen einzufügen und Simulationsexperimente zur Eignung der jeweiligen Kontrollvariablen durchzuführen.

Halbleiterfertigungsanlagen gehören zu den komplexesten Fabriken。在der Regel中，best eine Halbleiterfabrik为mehrelenhundert Maschinen。Die meisten Chiptypen benötigen bis zu fnfhundert Prozeßschritte。Zur Maximierung des Fabrikdurchsatzes begleichzetitiger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger ger。作为一项传奇盛会，welches和iner machine wartende Los nach Freiwerden der Maschine也在nächstes举办。德国人最喜欢的东西是什么？德国人喜欢的东西是什么？Diese Einstartvorgänge werden im Augenblick meist statisch mittelels Produktionsplänen durchgef<e:2> hrt。他的轻jedoch auder Hand， das ß bei Kapazitätsproblemen frischingestartete失去了他们的生产背后。2 .在德国，德国的动力系统为动力系统，德国的动力系统为动力系统。Man spricht von closed - loop - estartregeln，数据基础，数据基础，数据基础，数据基础，数据基础。Wegen der Komplexität der Fabrik ist aber bisher unklar welche Meßgröße(n)这是最好的控制变量f<e:1>闭环- steuerung eignen。Der Antragsteller beabsictitig in Zusammenarbeit mit教授Hohn Fowler Der Arizona State erfolgversprechende kontrol - variable auszuwählen， entsprechende instartstrategien in Simulationsmodelle von realen fabrikmodelleinzuf<e:1> and simulationsexperiente zur Eignung Der jeweiligen kontrol - variable durchzuf<e:1> hren。