Untersuchung und Weiterentwicklung von Closed-Looped-Einstartregeln für Halbleiterfertigungsanlagen

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Halbleiterfertigungsanlagen gehören zu den komplexesten Fabriken. In der Regel besteht eine Halbleiterfabrik aus mehreren hundert Maschinen. Die meisten Chiptypen benötigen bis zu fünfhundert Prozeßschritte. Zur Maximierung des Fabrikdurchsatzes bei gleichzeitiger Einhaltung der Liefertermine für die jeweiligen Produkte sind Steuerungsmechanismen nötig, die die fabrikinterne Logistik regeln. Abfertigungsregeln legen fest, welches an einer Maschine wartende Los nach Freiwerden der Maschine als nächstes bearbeitet wird. Einstartregeln bestimmen, zu welchem Zeitpunkt ein unbearbeitetes Los in die Fabrik eingestartet wird. Diese Einstartvorgänge werden im Augenblick meist statisch mittels Produktionsplänen durchgeführt. Es liegt jedoch auf der Hand, daß bei Kapazitätsproblemen frisch eingestartete Lose eher den Produktionsfluß behindern. Aus diesem Grund werden seit einiger Zeit dynamische Einstartregeln diskutiert, bei denen der Einsatzstartzeitpunkt vom Fabrikzustand abhängt. Man spricht von Closed-Loop-Einstartregeln, da basierend auf Rückmeldungen aus der Fabrik eingestartet wird. Wegen der Komplexität der Fabrik ist aber bisher unklar welche Meßgröße(n) sich am besten als Kontrollvariable für die Closed-Loop-Steuerung eignen.Der Antragsteller beabsichtigt in Zusammenarbeit mit Prof. Hohn Fowler der Arizona State erfolgversprechende Kontrollvariable auszuwählen, entsprechende Einstartstrategien in Simulationsmodelle von realen Fabrikmodellen einzufügen und Simulationsexperimente zur Eignung der jeweiligen Kontrollvariablen durchzuführen.