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電気化学的手法による高機能薄膜作製におけるエピタキシ-制御手法の確立

电化学法制备高性能薄膜的外延控制方法的建立

基本信息

批准号：
06750724
负责人：
本間敬之
金额：
$ 0.58万
依托单位：
Waseda University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1994
资助国家：
日本
起止时间：
1994 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は,電気化学的手法による機能薄膜作製において,特に“エピタキシ-"に着目し,これに影響を与える諸因子を明らかにすると共に,それらを利用したエピタキシ-制御手法を確立することを目的に研究を行った.その際,特に本手法独特の成膜因子を制御パラメータの中心とし,蒸着,スパッタ等の物理成膜法では不可能な,本成膜法ならではの高度な膜微細構造制御手法の確立を念頭に検討を進めた.まず申請者が従来より検討対象としてきた無電解析出法のよるCo合金薄膜を対象に検討を進めた.c軸が基板面に垂直に配向したhcp構造を有する無電解CoNiReP薄膜を同軸が面内配向した無電解CoP薄膜上に直接成膜したところ,通常のエピタキシ-効果によりCoNiReP上層は両内配向構造となり,またその磁気特性もCoP膜に類似のものとなった.両層間に数nm厚程度の中間層を付与したところ膜成長のエピタキシ-は断ち切れたが,同時に両層間の磁気的相互作用(交換結合)も断ち切られた.そこで,CoP下地表面に,無電解折出反応に対し高い触媒能を示すPdを付与したところ,その吸着量は0.5ML以下であるものの表面の優先析出(エピタキシャル成長)サイトに効果的にクラスタを形成する結果,磁気的相互作用を保ったままでエピタキシャル成長を抑制可能であることが明らかとなった.このような手法を用いて,従来は作製不可能であった垂直面内複合型磁気ディスクを得,その記録再生特性が極めて良好であることを明かとし,このようなエピタキシ-制御手法の有効性を確認した.さらに主々の因子の与える影響の詳細な解析の推進が可能な新浴系を開発すると同時に種々の電気化学的パラメータの影響を検討し,従来通説とされていた,金属イオンの錯状態の影響は必ずしも一義的なものでないことを明らかにした.以上の検討より得られた結果を基に,次のステップとして,より高度な機能を発現する薄膜(多層膜,人工超格子膜等)材料創製への展開を目指す予定である.

In this study, the method of electrochemistry can be used to make sure that the purpose of the study is to make sure that the system is used to make sure that the purpose of the study is to keep an eye on it, and that the factors are related to each other. In the world, this method is unique in the control of film-forming factors, steaming, heating, and other physical film-forming methods are not possible. This film-forming method makes sure that the film-forming method is effective. The applicant is interested in the performance of the Co alloy film. The substrate surface is vertically oriented to the hcp. The CoNiReP film is in the same plane as the CoP film. In general, the thin film is directly formed on the CoP film, usually on the CoNiReP. The type of CoP film is similar to that of magnetic properties. In terms of the thickness of the nm, the growth of the film, the interaction between the magnets and the interaction between the magnets at the same time, the interaction between the two magnets is cut off. Low temperature, high temperature, high temperature, low temperature, high temperature, low temperature The interaction between magnets is important to prevent the growth of magnetic field. It is not possible to use the technique to improve the accuracy of the vertical in-plane magnetic field. The regenerative properties of the device are very good, and the performance is very good. The main factors and effects are analyzed to promote the possibility that the new bath system will be opened at the same time, in order to improve the performance of electrical chemistry in the same time, in order to provide information on the meaning of the error state of the metal industry. The results of the above experiments show that the performance of the film (multi-layer film, artificial superlattice film, etc.) can be detected by the machine.