权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

バリスティック電子放射顕微鏡による金属半導体界面のエッジにおける電気的特性の測定

使用弹道电子发射显微镜测量金属-半导体界面边缘的电特性

基本信息

批准号：
07555005
负责人：
長谷川幸雄
金额：
$ 9.98万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research (B)
财政年份：
1995
资助国家：
日本
起止时间：
1995 至 1997
项目状态：
已结题

项目摘要

今年度には、バリスティック電子放射顕微鏡(BEEM)の設計およびその組立を行った。これまでのBEEMでは大気中あるいは液体窒素中で実験が行われており、そのため試料の清浄度の問題や表面の吸着物による影響が指摘されてきた。こうした点を避けるために、BEEMユニット全体を超高真空内に入れて研究を行う計画である。そのためのイオンポンプやターボポンプなどを真空系等の設計を行い、現在10^<-11>台の超高真空状態が得られる状態になっている。また試料処理・蒸着用のポートも作製しており、界面面積を小さくするためのマスウなども取り付けて、真空内で作製した試料をそのままBEEMに搬送して表面および界面の状態を原子レベルの分解能で観察出来るようになっている。除振対策に関しては除振台を超高真空内に組み込んだ形のものを採用し、コンパクトな本体となるようにした。またBEEMでは検出する電流が極めて微弱であり、そのノイズ対策が重要である。電流検出用のアンプを自作して真空内に入れ、試料からの距離を出来るだけ小さくしてノイズの影響を減らそうとしている。またBEEMスペクトラム読み込み用の波形記憶装置を設計しパーソナルコンピュータで制御することによって、測定の高速化・平均化を行い、他からのノイズを避けS/N比を高める工夫を行っている。現在STMを用いてその性能の確認を進めており、従来に比べ10倍ほど測定時間を短縮できさらにノイズも少ないことから、十分な効果があることが判ってきている。

This year, the design of BEEM, a BEEM design project, was established by the company.これまでのBEEMでは大気中あるいは Liquid Suffocation Element 中で実験が行われており、 The problem of the cleanliness of the sample and the influence of the adsorbed matter on the surface are pointed out. All BEEM dots and dots are researched and planned in ultra-high vacuum.そのためのイオンポンプやターボポンプなどをvacuum system and other design を行い, Now 10^<-11> Taiwan's ultra-high vacuum state is in the same state.またSample processing・Steaming using のポートも用しており、Interface area を小さくするためのマスウなども取りFUけて、Making in vacuum The state of the surface of the sample and the interface of the BEEM can be observed through the decomposition of the atoms. The anti-vibration control system uses ultra-high vacuum internal vibration isolation equipment, and the main body of the anti-vibration equipment is used.またBEEMでは検出するcurrentが极めて小であり、そのノイズ対泽がimportantである. The current output is made by the user and the distance between the sample and the vacuum is the same.を出るだけ小さくしてノイズのeffect を reduce らそうとしている.またBEEMスペクトラム譭み込み Used waveform memory device を design しパーソナルコンピュータでcontrol することによって, measurement speed-up and averaging を行い, and other からのノイズをavoidanceけS/N ratio を高める工夫を行っている. Currently, STM is used to confirm the performance of the STM and to measure the time using the 10-fold test. Shorten the effect of the shortening, the effect of the shortening will be reduced, and the effect of the ten points will be shortened.