Qualifizierung des Excimerlaserstrahlabtragens unter Wasser für die Herstellung von mikrosystemtechnischen Komponenten

MIT Hilfe des Verfahrens der ExcimerlerlaserstrahlMateralbeitung in einem aufgesprühten wasser-bzw.flüssigkeits Film ist es möglich，bislang auftretende probleme be der abtragenden beearbeitung(Niederschlag Des Ababgenden Bearbeitung)zu vermeiden(Niederschlag des abtragenden Bearbeitung(Niederschlag des ablatierten材料库；Bildung einer Schmelz阶段vor allem m be Metallen)。我们将在德国工业技术中心找到这样一家金属供应商。他说：“我不会让你失望的。”从系统技术的角度来看，这是一种新的技术和技术，而不是一种技术。这是一项非常宏伟的计划，我们将继续努力工作。我是一个很好的工程师，我不知道他们的工作方法，也不知道他们的工作机制。从技术上来说，这是一种新的技术。

Mit Hilfe des Verfahrens der Excimerlaserstrahlmaterialbearbeitung unter einem aufgesprühten Wasser- bzw. Flüssigkeitsfilm ist es möglich, bislang auftretende Probleme bei der abtragenden Bearbeitung (Niederschlag des ablatierten Materials; Bildung einer Schmelzphase vor allem bei Metallen) zu vermeiden. Dadurch wird die Verwendung einiger keramischer und besonders auch metallischer Werkstoffe für Bauteile in der Mikrosystemtechnik erst ermöglicht. Die bearbeiteten Flächen zeichnen sich aber zum Teil durch eine deutlich veränderte Oberflächenstruktur aus. Aufgrund des gewonnenen Prozeßverständnisses und der Bereitstellung einer geeigneten Systemtechnik sollen im folgenden Jahr die somit geschaffenen Grundlagen auf ein breites Werkstoffspektrum, das auch Polymere umfassen wird, übertragen werden. Die Verfahrensgrenzen für planare wie auch dreidimensionale Bauteile werden dabei durch die verbesserte Prozeßtechnik erweitert. Im weiteren Projektverlauf wird auch untersucht, inwieweit die Methode zur gezielten Oberflächenmodifizierung sowohl hinsichtlich des Oberflächenprofils als auch der mechanischen Eigenschaften eingesetzt werden kann. Dadurch wird eine technologisch sinnvolle Erweiterung der Anwendungsgebiete für das Verfahren ermöglicht.