Qualifizierung des Excimerlaserstrahlabtragens unter Wasser für die Herstellung von mikrosystemtechnischen Komponenten

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Mit Hilfe des Verfahrens der Excimerlaserstrahlmaterialbearbeitung unter einem aufgesprühten Wasser- bzw. Flüssigkeitsfilm ist es möglich, bislang auftretende Probleme bei der abtragenden Bearbeitung (Niederschlag des ablatierten Materials; Bildung einer Schmelzphase vor allem bei Metallen) zu vermeiden. Dadurch wird die Verwendung einiger keramischer und besonders auch metallischer Werkstoffe für Bauteile in der Mikrosystemtechnik erst ermöglicht. Die bearbeiteten Flächen zeichnen sich aber zum Teil durch eine deutlich veränderte Oberflächenstruktur aus. Aufgrund des gewonnenen Prozeßverständnisses und der Bereitstellung einer geeigneten Systemtechnik sollen im folgenden Jahr die somit geschaffenen Grundlagen auf ein breites Werkstoffspektrum, das auch Polymere umfassen wird, übertragen werden. Die Verfahrensgrenzen für planare wie auch dreidimensionale Bauteile werden dabei durch die verbesserte Prozeßtechnik erweitert. Im weiteren Projektverlauf wird auch untersucht, inwieweit die Methode zur gezielten Oberflächenmodifizierung sowohl hinsichtlich des Oberflächenprofils als auch der mechanischen Eigenschaften eingesetzt werden kann. Dadurch wird eine technologisch sinnvolle Erweiterung der Anwendungsgebiete für das Verfahren ermöglicht.