直径10cmの気相合成ダイヤモンド透明薄板の研磨に関する研究

直径10 cm气相人造金刚石透明薄板抛光研究

• 批准号: 08650128
• 负责人: 吉川 昌範
• 金额: $ 1.34万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1996 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-08650128/
• 关键词: 気相合成; ダイヤモンド; 研磨

本研究は,直径最大10cmの大面積気相合成ダイヤモンド薄板を熱化学研磨法により平面研磨するため,装置を設計,試作し,その研磨特性を評価したものである.従来の方法では,加熱した鉄板とダイヤモンド膜を均一に接触させることが不可能であったため,研磨できる面積が限られていた.そこで,ダイヤモンド膜上で小面積の鉄を摺動させることにより直径最大10cmのダイヤモンド薄板を熱化学研磨するものである.研磨装置は,棒状の鉄の加熱・直径往復運動機構,ダイヤモンド薄板の加熱・回転運動機構,真空チャンバおよび真空排気系からなる.棒状の鉄の先端は最高830℃に加熱され,摺動速度は最高0.17mm/sである.また,ダイヤモンド薄板は最高700℃に加熱され,回転速度は0.36〜5.6rpmである.試料のダイヤモンド薄板はアーク放電プラズマジェットCVD法により合成した.あらかじめ♯400のダイヤモンド砥石によりダイヤモンド薄板の表面凹凸を粗仕上げし,その後,試作した装置により0.1Paの真空中で研磨を行った結果,残された表面凹凸が除去されることを確認した.この方法は,鉄とダイヤモンド薄板の接触時間が短いためダイヤモンド薄板の面積が大きくなるにしたがって長い研磨時間を必要とするが,低荷重で薄板全面を均一に研磨することができることがわかった.

In this paper, the design, test and evaluation of the grinding characteristics of thermochemical polishing for thin plates with a diameter of up to 10cm were studied. The method is to heat the iron plate, to make the film uniform, to make it impossible, to grind it, to make it uniform. For example, a small area of iron on a thin film can be folded, and a thin film with a diameter of up to 10cm can be thermally and chemically ground. Polishing device includes rod iron heating and diameter reciprocating motion mechanism, thin plate heating and returning motion mechanism, vacuum exhaust system, etc. The tip of rod-shaped iron is heated at a maximum of 830℃, and the maximum deflection speed is 0.17mm/s. The maximum heating temperature of the thin plate is 700℃, and the return speed is 0.36 ~ 5.6rpm. The sample was prepared by CVD method. The surface roughness of the thin plate was roughly removed after the grinding of the thin plate in vacuum at 0.1Pa. The results showed that the surface roughness of the thin plate was removed after the grinding of the thin plate in vacuum at 0.1Pa. This method is to reduce the contact time of iron and steel thin plates and reduce the contact time of iron and steel thin plates and reduce the contact time of iron and steel thin plates.