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特異値分解に基づく光インターコネクションのサブミクロンアクティブアライメント法

基于奇异值分解的亚微米光互连主动对准方法

基本信息

批准号：
11875012
负责人：
石川正俊
金额：
$ 1.34万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
1999
资助国家：
日本
起止时间：
1999 至 2000
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-11875012/
关键词：
光インターコネクション自由空間インターコネクションチップ間光インターコネクションアライメント特異値分解超並列光配線能動型アライメント微細化超微細XYステージ面発光ダイオードアレイアライメント解析面対面

项目摘要

電気配線における信号の伝搬遅延の問題や半導体集積回路チップに実装できる出力ピン数の限界(ピンボトルネック)を根底から解消する技術として,チップ間の自由空間を介した自由空間並列光インターコネクション技術が,チップ間の通信帯域幅への厳しい要求によって,大きく期待されるようになってきた.ところが,並列光インターコネクションにおいては,デバイスの微小さや,正確な位置合わせを必要とする膨大な自由度がシステムに内包されていることから,技術的にも理論的にもアライメントの困難さに直面しており,多くの研究者がブレイクスルーを模索している状況にある.そこで本研究では,特異値分解(SVD)を用いた光インターコネクションにおけるアライメントの解析手法を構築した.これにより,膨大な数のパラメータに依存する複雑な光学系のアライメントのシスティマティックな解析を可能とした.具体的には,光システムを構成する各パラメータがアライメントに及ぼす影響度を解析する枠組,ミスアライメントの検出の正確性を評価する基準,及びシステムのダイナミクスを考慮したアライメント解析の基本的評価基準,を提案した.こうした手法を用いて,光インターコネクションのアライメントに多大な影響を及ぼす自由度に対しては,高コストなアクティブアライメント技術を導入し,比較的影響の少ない自由度に対してはパッシブなアライメント技術で対処するといった,システム設計方針が導かれる.光学では従来では着目されてこなかった特異値分解という数理的手法の導入により,要求される精度のアライメントを最小のコストで実現するシステムの設計指針が得られた.

The problem of signal propagation delay in electrical distribution lines, the limitation of output number of semiconductor integrated circuits, the fundamental solution of technology, the free space between them, the free space parallel optical transmission technology, the requirements of amplitude of communication band between them, and the large expectation of technology. In this paper, the author points out that, in the light of the development of science and technology, it is necessary to expand the degree of freedom of science and technology, and the difficulty of theory and technology. In this study, we constructed a method for the analysis of SVD (Special Value Decomposition). The analysis of complex optical systems depends on the number of parameters. Specifically, the optical system consists of a set of criteria for evaluating the legality of the detection of the optical system and a set of criteria for evaluating the legality of the detection of the optical system. This technique is used to determine the degree of influence and freedom of the light source on the design of the vehicle, and to determine the degree of freedom of the light source on the design of the vehicle. The design guidelines for optical systems are obtained by introducing mathematical methods into optical systems, and by requiring precision and minimum resolution.