Self-organized nanoscale structures by ion beam erosion.

通过离子束腐蚀形成自组织纳米级结构。

• 批准号: 5303336
• 负责人: Dr. Frank Frost
• 金额: --
• 依托单位: Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. (IOM)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2001
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2000-12-31 至 2003-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5303336?language=en
• 关键词: Self; organized; nanoscale; structures; ion

Unter bestimmten Bedingungen (schräger Ioneneinfall) ist es möglich, daß sich beim Beschuß von Festkörperoberflächen mit energetischen Ionen periodische "Ripple"-Strukturen mit Wellenlängen z.T. deutlich kleiner als 1 µm und einer definierten Orientierung zum einfallenden Ionenstrahl entstehen. Dieses Phänomen ist seit langem für eine Vielzahl von Materialien bekannt, wenn auch noch nicht vollständig verstanden. Eine neue faszinierende Entdeckung gelang kürzlich für verschiedene AIII/BV-Halbleiter. Dort kann man bei Aufhebung der durch die Ioneneinfallsrichtung vorgegebenen Anisotropie bei der Entwicklung der Oberflächentopographie ("Ripple"-Bildung) durch entweder senkrechten Ioneneinfall oder allgemeiner bei schrägem Einfall und simultaner Probenrotation die Ausbildung regelmäßiger Hügel- oder "Dot"-Strukturen mit Abmessungen z.T. deutlich kleiner als 100 nm beobachten. Die entstandenen "Dot"Strukturen zeichnen sich zum einen dadurch aus, daß sie über große Bereiche völlig regelmäßig (hexagonale Anordnung) und zum anderen annähernd gleich groß sind. Die allgemeine und umfassende sowohl experimentell als auch theoretisch (basierend auf Simulationsrechnungen unter Verwendung von stochastischen Kontinuumsgleichungen) Untersuchung dieses selbstorganisierenden Musterbildungsprozesses (einschließlich der Ausdehnung auf andere Materialien) soll Gegenstand des vorliegenden Projektantrages sein.

Unter bestimmten Bedingungen（schräger Ioneneinfall）ist es möglich，daubisich beim Beschuplesvon Festkörperoberflächen mit energetischen Ionen periodische“涟漪”-Strukturen mit Wellenlängen z.T. deutlich kleiner als 1 µm and einer definierten Orientierung zum einfallenden Ionenstrahl entstehen.这一名称是一种由材料制成的古老语言，但也不是完全正确的。Eine neue faszinierende Entdeckung gelang kürzlich für verbedene AIII/BV-Halbleiter.在上表面地形学（“涟漪”--Bildung）的发展过程中，通过离子注入或离子注入和与Abmessungen z.T.一起的“点”--结构的相互作用，可以使离子注入产生各向异性。德国克莱纳100 nm被观察到。Die entstandenen“Dot“Strukturen zeichnen sich zum einen dadjuans，dadjusie über große Bereiche völlig regelmäßig（hexagonale Anordnung）und zum anderen annähernd gleich groupsind.所有的实验都是基于随机连续性的模拟研究，从理论上探讨了自组织培养过程（一种基于材料的培养）对工程项目的影响。