触針の微小振動を用いた微細構造計測に関する研究
利用触针微振动测量精细结构的研究
基本信息
- 批准号:01J11283
- 负责人:
- 金额:$ 1.28万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for JSPS Fellows
- 财政年份:2001
- 资助国家:日本
- 起止时间:2001 至 2002
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
本研究では、近年急速に開発の進んでいる微細加工技術などによって製作されたデバイスの工学的な意昧での表面形状を、高速かつ高分解能で計測する装置の開発を目指している。すなわち、従来の表面粗さ計を高分解能化、三次元への拡張を目指して計測装置の開発を行っている。この計測系は、タングステン製のプローブを上下に加振して試料をたたき、振幅が一定になるように高さ制御をおこなう。このように計測をおこなうことにより、試料へのダメージ低減と、分解能の向上が可能となる。昨年度までの研究では、マイクロフォークという既製の発信用電子デバイスを利用し、高さ方向の分解能が数nmの計測装置の開発をおこなった。しかし、最終的に分解能を決定する探針を、タングステンの電解研磨によって製作した後マイクロフォークに取り付けていたため、探針の交換をおこなうと計測特性が変化するという問題点があった。本年度はシリコン単結晶の異方性エッチングを利用し、加振用の梁とプローブを一体で製作できるプロセスの開発をめざした。アルカリによるシリコンの異方性エッチングでは、(111)面のエッチング速度が非常に遅いために、精度のよい平面を得ることができ、(110)シリコンウエハを利用すると、ウエハ表面に対して垂直な壁を製作することができる。そこで、(110)ウエハに窓をあけるようなパターニングをおこない、幅300μm、高さ200μm、長さ15nmの両持ち梁を製作した。梁の中央部には、微少な凸形状が残るようなパターニングをおこなうと、(111)面に囲まれた形状が三角錐状に残る。その先端部分を電子顕微鏡で観察したところ、先端半径は10数nmとなった。このプローブ付きの両持ち梁をPZTにより加振したところ、28kHz付近に共振周波数を持つことを確認した。次に、製作した両持ち梁にボロンをドープし、ピエゾ抵抗効果による振動検出実験をおこなった。シリコンウエハにPBFをスピンコートし、1000℃で1時間加熱することにより、両持ち梁部分にピエゾ抵抗を持たせることができる。そこで、この両持ち梁を含むようなブリッジ回路を製作し、PZTを用いて両持ち梁を加振すると、振動振幅に対応するように両持ち梁両端の電圧変化が現れることを確認した。
This study で は, in recent years, rapid に 発 の into ん で い な る microfabrication techniques ど に よ っ て making さ れ た デ バ イ ス の engineering of な meant で の を surface shape, high-speed か つ high decomposition can で す meter test device る の open 発 を refers し て い る. す な わ ち, 従 to の surface coarse さ を high resolution, three dimensional へ の company, zhang を refers し て measuring device の open 発 を line っ て い る. こ の measuring は, タ ン グ ス テ ン system の プ ロ ー ブ を に add up and down vibration し て sample を た た き, amplitude が certain に な る よ う に high さ suppression を お こ な う. こ の よ う に measuring を お こ な う こ と に よ り, try へ の ダ メ ー ジ low と reduction, can decompose の upward が may と な る. Yesterday's annual ま で の research で は, マ イ ク ロ フ ォ ー ク と い う system both の 発 credit electronic デ バ イ ス を utilization direction し, high さ の decomposition can count が nm の measuring device の open 発 を お こ な っ た. し か し, final に decomposition can を decision す る probe を, タ ン グ ス テ ン の electrolytic grinding に よ っ て making し た after マ イ ク ロ フ ォ ー ク に take り pay け て い た た め, probe の exchange を お こ な う と measuring characteristic が variations change す る と い う problem point が あ っ た. This year's は シ リ コ ン 単 crystallization の square difference エ ッ チ ン グ を using with の し, vibration beam と プ ロ ー ブ を で integrated production で き る プ ロ セ ス の open 発 を め ざ し た. ア ル カ リ に よ る シ リ コ ン の square difference エ ッ チ ン グ で は, (111) surface の エ ッ チ ン が グ speed very に 遅 い た め に, precision の よ い plane を have る こ と が で き, (110) シ リ コ ン ウ エ ハ を using す る と, ウ エ ハ surface に し seaborne て な vertical wall を making す る こ と が で き る. そ こ で, (110), ウ エ ハ に 窓 を あ け る よ う な パ タ ー ニ ン グ を お こ な い, 300 microns, high さ 200 microns, long さ 15 nm の struck a ち beam を making し た. The central part beam の に は, slightly less な convex shape が residual る よ う な パ タ ー ニ ン グ を お こ な う と, (111) surface に 囲 ま れ た が three pyramid-shaped に residual る shape. Youdaoplaceholder0 the terminal part を the electron 顕 micromirror で観 examines the ろ たと ろ ろ ろ and the terminal radius in the tens of nmとなった. こ の プ ロ ー ブ pay き の struck a ち beam を PZT に よ り and し た と こ ろ, 28 KHZ paying nearly に resonance frequency count を hold つ こ と を confirm し た. に, making し た struck a ち beam に ボ ロ ン を ド ー プ し, ピ エ ゾ resistance unseen fruit に よ る vibration 検 out be 験 を お こ な っ た. シ リ コ ン ウ エ ハ に PBF を ス ピ ン コ ー ト し, 1000 ℃ で す 1 time heating る こ と に よ り, struck a ち beam section に ピ エ ゾ resistance を hold た せ る こ と が で き る. そ こ で, こ の struck a ち beam を containing む よ う な ブ リ ッ ジ loop を し making, PZT を with い て struck a ち beam vibration を plus す る と, vibration amplitude に 応 seaborne す る よ う に struck a ち beam struck end の electric 圧 variations change が now れ る こ と を confirm し た.
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
高橋 健其他文献
非B非C型肝癌に対する肝移植症例の検討
非B、非C肝癌肝移植病例检查
- DOI:
- 发表时间:
2022 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
西尾 太宏;小山 幸法;小木曾 聡;楊 知明;福光 剣;石井 隆道;恵荘 裕嗣;高井 淳;高橋 健;瀬尾 智;田浦 康二朗;妹尾 浩;波多野 悦朗;第34回肝胆膵外科学会総会;西尾 太宏,伊藤 孝司,奥村 晋也,政野 裕紀,影山 詔一,小木曾 聡,穴澤 貴行,福光 剣,石井 隆道,瀬尾 智,秦 浩一郎,波多野 悦朗 - 通讯作者:
西尾 太宏,伊藤 孝司,奥村 晋也,政野 裕紀,影山 詔一,小木曾 聡,穴澤 貴行,福光 剣,石井 隆道,瀬尾 智,秦 浩一郎,波多野 悦朗
Prolonged Survival of Fully Mismatched Cardiac Allografts and Generation of Regulatory Cells by Sairei-to a Japanese Herbal Medicine Transplantation
完全不匹配的同种异体心脏移植物的长期存活和通过 Sairei 生成调节细胞 - 到日本草药移植
- DOI:
- 发表时间:
2009 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
松田明久;笹島耕二;松谷毅;丸山弘;宮本昌之;水谷崇;横山正;鈴木成治;柳健;柏原元;高橋 健;宮下正夫;鈴木英之;古川清憲;田尻孝;松田明久;Matsuda A;松田明久;松田明久;M. Niimi - 通讯作者:
M. Niimi
続縄文文化の回転式銛頭
后绳纹文化的旋转鱼叉头
- DOI:
- 发表时间:
2004 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
高橋 健;V.デリューギン;I.Ya.シェフコムード;S.F.コシツェナ;高橋 健;高橋 健;高橋 健 - 通讯作者:
高橋 健
Giovanni Distefano, L'ordre international entre legalite et effectivite: le titre juridique dans le contentieux territorial(Editions Pedone,2002,xi+585pp.)
乔瓦尼·迪斯特法诺 (Giovanni Distefano),Lordre International entre legalet et effectiveivite: le titre juridique dans le contentieux territorial(Pedone 版,2002 年,xi 585 页)
- DOI:
- 发表时间:
2006 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
高橋 健;V.デリューギン;I.Ya.シェフコムード;S.F.コシツェナ;高橋 健;高橋 健;高橋 健;藤原久仁子;藤原久仁子;藤原久仁子;藤原久仁子;荒原 邦博;荒原 邦博;荒原 邦博;荒原 邦博;許 淑娟 - 通讯作者:
許 淑娟
高橋 健的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
{{ truncateString('高橋 健', 18)}}的其他基金
小児がん経験者の生命予後改善のための肥満改善の試み
尝试改善肥胖以改善儿童癌症幸存者的生活预后
- 批准号:
24K10582 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Bone and antler artifacts of the Okhotsk Culture
鄂霍茨克文化的骨头和鹿角文物
- 批准号:
23K18696 - 财政年份:2023
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
母体血を用いた無侵襲的出生前胎児RhD血液型診断法の臨床応用
母血无创产前胎儿RhD血型诊断的临床应用
- 批准号:
23K15847 - 财政年份:2023
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
Atomistic understanding of the electrode potential effect on the electrochemical processes by the newly developed constant electrode potential QM/MM method
通过新开发的恒定电极电位 QM/MM 方法从原子角度理解电极电位对电化学过程的影响
- 批准号:
22KJ1854 - 财政年份:2023
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
Exploratory research about data cleansing of standard teaching data for developing AI for image diagnosis
标准教学数据数据清洗以开发图像诊断人工智能的探索性研究
- 批准号:
21K07683 - 财政年份:2021
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
1型糖尿病における心機能低下の早期発見の試み
尝试早期检测 1 型糖尿病患者心功能下降
- 批准号:
18K08086 - 财政年份:2018
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
北西太平洋縁海における海獣狩猟文化の比較考古学的研究
西北环太平洋海洋哺乳动物狩猎文化的比较考古研究
- 批准号:
21720284 - 财政年份:2009
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
校内における教師の授業改善を図るアクションリサーチシステムの開発
开发行动研究系统以改善学校教师的课程
- 批准号:
20909007 - 财政年份:2008
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
北太平洋沿岸地域における海獣狩猟文化の考古学的研究
北太平洋沿岸海洋哺乳动物狩猎文化的考古研究
- 批准号:
04J09810 - 财政年份:2004
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
微生物によるアスコルビン酸類の生合成と新しい型の酸化醗酵
微生物生物合成抗坏血酸及新型氧化发酵
- 批准号:
X00090----156067 - 财政年份:1976
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
相似海外基金
Collaborative Research: Liquid Crystal-Templated Chemical Vapor Polymerization of Complex Nanofiber Networks
合作研究:复杂纳米纤维网络的液晶模板化学气相聚合
- 批准号:
2322900 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Standard Grant
Collaborative Research: Topological Defects and Dynamic Motion of Symmetry-breaking Tadpole Particles in Liquid Crystal Medium
合作研究:液晶介质中对称破缺蝌蚪粒子的拓扑缺陷与动态运动
- 批准号:
2344489 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Standard Grant
Patterning Mesoscale Chirality by Guided Crystal Twisting
通过引导晶体扭曲形成中尺度手性图案
- 批准号:
2325911 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Standard Grant
Development of highly efficient and stable photon-counting type X-ray detectors using single crystal metal halide perovskite semiconductors
利用单晶金属卤化物钙钛矿半导体开发高效稳定的光子计数型X射线探测器
- 批准号:
24K15592 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
CAREER: Liquid Crystal-Templated Sequential Infiltration Synthesis of Hybrid Organic/Inorganic Materials with Multidimensional Chiral Structures
职业:具有多维手性结构的有机/无机杂化材料的液晶模板连续渗透合成
- 批准号:
2337740 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Continuing Grant
Single crystal diffractometer
单晶衍射仪
- 批准号:
536384865 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Major Research Instrumentation
Tuning Precision Fabricated Liquid Crystal Adsorbents - Toward Tailored Adsorption of Per- and Polyfluorinated Alkyl Substances
调整精密制造的液晶吸附剂 - 针对全氟和多氟烷基物质的定制吸附
- 批准号:
24K17729 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
CAREER: Unveiling the structure and stability of prenucleation clusters and their roles in crystallization pathway and final crystal structure
职业:揭示成核前团簇的结构和稳定性及其在结晶途径和最终晶体结构中的作用
- 批准号:
2338173 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Continuing Grant
SBIR Phase I: Universal Crystal Growth Capsule and Novel Wafer Dicing Tool for In-Space Manufacturing
SBIR 第一阶段:用于太空制造的通用晶体生长舱和新型晶圆切割工具
- 批准号:
2419346 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Standard Grant
CAREER: Interfacial behavior of motile bacteria at structured liquid crystal interfaces
职业:运动细菌在结构化液晶界面的界面行为
- 批准号:
2338880 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 1.28万 - 项目类别:
Continuing Grant