PACVD-Synthese und Charakterisierung von Si/(B)/C/N-Hartstoffschichten für tribologische Anwendungen

用于摩擦学应用的 Si/(B)/C/N 硬质材料层的 PACVD 合成和表征

• 批准号: 5313818
• 负责人: Professor Dr. Edwin Kroke
• 金额: --
• 依托单位: Leibniz-Institut für Photonische Technologien (IPHT)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2001
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2000-12-31 至 2005-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5313818?language=en
• 关键词: PACVD; Synthese; und; Charakterisierung; von

In fachübergreifender Kooperation sollen Si/C/N-und Si/C/B/NHartstoffschichten hergestellt, der CVD-Prozeß experimentell und theoretisch untersucht und die Hartstoffschichten materialwissenschaftlich und werkstoffkundlich charakterisiert werden, um den CVD-Prozeß als Gesamtsystem chemisch und verfahrenstechnisch umfassend zu betrachten. Die Hartstoffschichten sollen aus einkomponentigen Si/C/N- und Si/C/B/N-Vorläufern mittels RF-Plasma-CVD auf dieselbe Weise im Fachgebiet Disperse Feststoffe (TU Darmstadt) und im Bereich Lasertechnik (IPHT Jena) hergestellt werden. Der CVD-Prozeß soll in Jena experimentell anhand der Gasphase in der Schichtbildungsebene in situ mittels lasergestützter Flugzeitmassenspektrometrie und im Institut für Anorganische Chemie (RWTH Aachen) theoretisch hinsichtlich Gasphasen- und Oberflächenreaktionen mittels quantentheoretischer Methoden untersucht werden. Die im Fachgebiet Disperse Feststoffe (TU Darmstadt) erzeugten Hartstoffschichten sowie Vergleichsproben aus Jena werden im Institut für Werkstoffkunde (TU Darmstadt) hinsichtlich mechanischer Eigenspannungen, Härte und tribologischer Eigenschaften sowie Verschleiß- und Korrosionsverhalten charakterisiert. Gleichzeitig wird im Fachgebiet Disperse Feststoffe (TU Darmstadt) die Elementzusammensetzung und die chemische Struktur der Schichten detailliert untersucht. Aus Korrelationen zwischen Abscheidebedingungen, Art und Eigenschaften der Gasphasenspezies, Oberflächenprozessen sowie den relevanten Harstoffschichteigenschaften werden theoretisch und empirisch Reaktionsmodelle für ein vertieftes, integrales Verständnis des ausgewählten CVD-Verfahrens erarbeitet.

在解决Si/C/N-和Si/C/B/N Hartstoffschichten问题的实验和理论研究中，我们发现了Hartstoffschichten材料的物理化学和工作特性韦尔登，并对CVD-Prozeden的化学体系和制备工艺进行了研究。在Fachgebiet Disperse Feststoffe（TU达姆施塔特）和Bereich Lasertechnik（IPHT Jena）上使用RF-Plasma-CVD技术解决了Si/C/N-和Si/C/B/N-两种材料的热处理问题。在耶拿实验中的CVD-固相反应和在原位的Schichtbildungsebene中的气相反应采用激光荧光光谱法，并在亚琛有机化学研究所（RWTH）的理论分析中采用了量子理论方法韦尔登。Die im Fachgebiet Disperse Feststoffe（TU达姆施塔特）erzeugten Hartstoffschichten sowie Vergleichsproben aus Jena韦尔登im Institut für Werkstoffkunde（TU达姆施塔特）hinsichtlich mechanischer Eigenspannungen，Härte und tribologischer Eigenschaften sowie Verschleiffen- und Korrosionsverhalten charakterisiert.我们将在达姆施塔特工业分散树脂中对该树脂的成分和化学结构进行详细研究。Aus Korrelationen zwischen Abscheidebedingungen，Art und Eigenschaften der Gasphasenspezies，Oberflächenprozessen sowie den relevanten Harstoffschichteigenschaften韦尔登theoretisch und empirisch Reaktionmodelle für ein vertieftes，integrales Verständnis des ausgewählten CVD-Verfahrens erarbeitet.