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Synthese von Al2O3 Dünnschichten mit der HPPMS (High Power Pulsed Magnetron Sputtering) Technologie auf Hartmetallwerkzeugen für die Zerspanung hochfester Gusswerkstoffe und Titanlegierungen

使用 HPPMS（高功率脉冲磁控溅射）技术在硬质合金刀具上合成 Al2O3 薄膜，用于加工高强度铸造材料和钛合金

基本信息

批准号：
215997260
负责人：
Professorin Dr.-Ing. Kirsten Bobzin
金额：
--
依托单位：
Werkzeugmaschinenlabor - WZL
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants (Transfer Project)
财政年份：
2012
资助国家：
德国
起止时间：
2011-12-31 至 2015-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/215997260?language=en
关键词：
Synthese von Al2O3 nnschichten mit

项目摘要

Die Beschichtung von Zerspanwerkzeugen hat in der Vergangenheit entscheidend zur Optimierung und Leistungssteigerung in der Zerspantechnik beitragen können. Al2O3 nimmt hierbei auf Grund einer Vielzahl an Eigenschaften, wie hohe Härte, Warmhärte, Oxidations-, Diffusions- und chemischer Be-ständigkeit eine wichtige Rolle ein.In den vorherigen Projekten „Nanokristalline γ- Al2O3 Schichten“ konnten am IOT und WZL bereits grundlegende Untersuchungen zur Abscheidung γ-kristalliner Al2O3-Dünnschichten mittels MSIP (Magnetron Sputter Ion Plating), deren Charakterisierung und Einsatzverhalten in der Zerspanung gesammelt werden. Eine Weiterentwicklung des gepulsten MSIP stellt die HPPMS Technologie dar, welche aufgrund hoher Ionisation des abgesputterten Materials einer Verbesserung der Schichtmor-phologie und -eigenschaften erreichen kann. In diesem Zusammenhang bisher wenig erforscht ist die Abscheidung von Al2O3 mittels HPPMS. Bisher ist noch unklar, welche Phasen abgeschieden werden bzw. wie die Prozessparameter die Phasenbildung beeinflussen.Neben einer genauen Prozessanalyse werden Schichten abgeschieden sowie deren Eigenschaften mit den Prozessparametern korreliert. Durch den Partner CemeCon ist eine industrienahe Schichtsynthese möglich. Die abgeschiedenen Schichten werden eingehend charakterisiert und dem WZL und Kennametal für Zerspanversuche zur Verfügung gestellt.Ziel ist es, die Erkenntnisse über die Abscheidung von Al2O3-Schichten und deren Einsatzverhalten auf industrielle Ebene zu übertragen, neue Einsatzbereiche des potentialträchtigen Schichtsystems zu erschließen und somit einen Beitrag zur Weiterentwicklung in der Zerspantechnik im Bereich hochfes-ter Gusswerkstoffe und Titanlegierungen zu leisten.

这顶帽子是最好的，也是最好的。纳米晶γ-Al_2O_3是一种新型的纳米材料，它的主要成分是纳米晶、纳米晶、纳米晶等。HPPMS技术是HPPMS技术的重要组成部分，电离化是材料生产的关键技术之一。在Zusammenang，Bisher，Weig，erforscht ist die Abscheidung von Al_2O_3 Mittels HPPMS。这是一个不确定的阶段，也是最重要的阶段。这一过程的参数是过程参数，分析的是过程参数。合作伙伴公墓是一家工业企业的公墓。他说：“这是一件很重要的事情，因为这件事发生了很大的变化。”