Synthese von Al2O3 Dünnschichten mit der HPPMS (High Power Pulsed Magnetron Sputtering) Technologie auf Hartmetallwerkzeugen für die Zerspanung hochfester Gusswerkstoffe und Titanlegierungen

使用 HPPMS（高功率脉冲磁控溅射）技术在硬质合金刀具上合成 Al2O3 薄膜，用于加工高强度铸造材料和钛合金

• 批准号: 215997260
• 负责人: Professorin Dr.-Ing. Kirsten Bobzin
• 金额: --
• 依托单位: Werkzeugmaschinenlabor - WZL
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants (Transfer Project)
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2011-12-31 至 2015-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/215997260?language=en
• 关键词: Synthese; von; Al2O3; nnschichten; mit

Die Beschichtung von Zerspanwerkzeugen hat in der Vergangenheit entscheidend zur Optimierung und Leistungssteigerung in der Zerspantechnik beitragen können. Al2O3 nimmt hierbei auf Grund einer Vielzahl an Eigenschaften, wie hohe Härte, Warmhärte, Oxidations-, Diffusions- und chemischer Be-ständigkeit eine wichtige Rolle ein.In den vorherigen Projekten „Nanokristalline γ- Al2O3 Schichten“ konnten am IOT und WZL bereits grundlegende Untersuchungen zur Abscheidung γ-kristalliner Al2O3-Dünnschichten mittels MSIP (Magnetron Sputter Ion Plating), deren Charakterisierung und Einsatzverhalten in der Zerspanung gesammelt werden. Eine Weiterentwicklung des gepulsten MSIP stellt die HPPMS Technologie dar, welche aufgrund hoher Ionisation des abgesputterten Materials einer Verbesserung der Schichtmor-phologie und -eigenschaften erreichen kann. In diesem Zusammenhang bisher wenig erforscht ist die Abscheidung von Al2O3 mittels HPPMS. Bisher ist noch unklar, welche Phasen abgeschieden werden bzw. wie die Prozessparameter die Phasenbildung beeinflussen.Neben einer genauen Prozessanalyse werden Schichten abgeschieden sowie deren Eigenschaften mit den Prozessparametern korreliert. Durch den Partner CemeCon ist eine industrienahe Schichtsynthese möglich. Die abgeschiedenen Schichten werden eingehend charakterisiert und dem WZL und Kennametal für Zerspanversuche zur Verfügung gestellt.Ziel ist es, die Erkenntnisse über die Abscheidung von Al2O3-Schichten und deren Einsatzverhalten auf industrielle Ebene zu übertragen, neue Einsatzbereiche des potentialträchtigen Schichtsystems zu erschließen und somit einen Beitrag zur Weiterentwicklung in der Zerspantechnik im Bereich hochfes-ter Gusswerkstoffe und Titanlegierungen zu leisten.

[2]在德国，德国技术与技术的结合与发展将使德国技术与技术的结合更加紧密。Al2O3纳米材料的研究进展与研究进展Härte， Warmhärte，氧化-，扩散-与化学研究进展Be-ständigkeit . .In den vorherigen Projekten " nanokristine γ- Al2O3 Schichten " konnten and WZL bereits grundlegende Untersuchungen zur Abscheidung γ-kristalliner Al2O3- dnnschichten mittelels MSIP（磁控溅射离子镀），deren Charakterisierung and Einsatzverhalten In der Zerspanung gesammelt werden。摘要：HPPMS技术是一种新型离子化材料，它是一种新型离子化材料，是一种新型离子化材料，是一种新型离子化材料。在diesem zusamenhang bisher研究中，Al2O3 mitels HPPMS的研究进展。比舍尔说：“我不知道你是谁。”参数：参数：参数：参数：参数：参数：参数：参数：参数：参数：本研究的主要内容是：分析预测的特征特征与预测参数的关系。荷兰合作伙伴CemeCon公司，德国合成公司möglich。[2] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [2]Ziel ist - es, die Abscheidung von Al2O3-Schichten and deren Einsatzverhalten auderderindustrielle einsatzberichsche - schschließ en and somit eitrag zur Weiterentwicklung in der Zerspantechnik im Bereich hochfes-ter Gusswerkstoffe and Titanlegierungen zu leisten。