エコ・エレクトロニクス材料β-FeSi_2単結晶の育成と高感度赤外検出器への応用

生态电子材料β-FeSi_2单晶的生长及其在高灵敏红外探测器中的应用

• 批准号: 14750224
• 负责人: 鵜殿 治彦
• 金额: $ 2.62万
• 依托单位: Ibaraki University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2002 至 2003
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-14750224/
• 关键词: β-Fesi_2; 半導体鉄シリサイド; 単結晶; 間接遷移; 電子構造; キャリア濃度制御; フォトルミネッセンス; ホモエピタキシー; β-FeSi_2単結晶; 溶液成長法; 光学的特性; 電気的特性; Ga溶媒; Sn溶媒; 不純物ドーピング; 近赤外受発光素子

半導体鉄シリサイド,β-FeSi_2,単結晶の成長条件を検討しより大型の結晶を得ることに成功した。更に,実際に研磨を行いβ-FeSi_2基板を作製し,MBE成長を行った。この結果,β-FeSi_2基板上にホモエピタキシャル膜を成膜できたが,その膜の結晶性,キャリア濃度制御の問題について課題が残った。このため,良好なpn接合特性を得るまでには至らなかった。また,結晶のキャリア濃度の制御を試み,Zn溶媒を用いて低キャリア濃度で比較的大型のβ-FeSi_2結晶を作製できた。この結晶を用いてこれまで以上にβ-FeSi_2の光学的特性について明らかにすることが出来た。これら主な研究成果の詳細は下記の通りである。1.β-FeSi_2単結晶を研磨し,弗化水素酸,及びフッ硝酸でエッチングすることで明瞭なRHEEDパターンを確認し,成長基板として利用することが可能になった。2.p型のβ-FeSi_2単結晶基板上に厚さ100nm程度のβ-FeSi_2膜を作製することに成功した。3.β-FeSi_2基板上の成長ではSi基板上に成長する場合と異なり,基板側からのSiの供給または吸い出しが無いために分子線の蒸発量比Fe/Siが成膜に非常に大きく影響することを確認した。今回の実験で膜のキャリア濃度制御及び伝導型制御が困難だったのはこの影響が大きいと考える。4.成長アンプル系,温度勾配を見直すことで,より短時間に大型の結晶を育成できるようになった。5.Zn溶媒からも数ミリサイズ角の単結晶を育成できるようになり,バルク単結晶から初めてフォトルミネッセンス発光を確認した.6.β-FeSi_2の光吸収特性を調べ直接遷移端,間接遷移端の温度依存性を明らかにした。7.偏光反射測定を行い各方位(a//E,b//E,c//E)の反射スペクトルを初めて明確にし,FLAPWを用いた電子構造計算結果から得られる反射スペクトルの情報が実験結果と良く一致することを明らかにした。

The growth conditions of semiconductors, β-FeSi_2, β-crystals and large-scale crystals have been successfully tested. What's more, the β-FeSi_2 substrate is used in the international grinding industry, and the growth of MBE is very important. The results showed that the film was formed on the β-FeSi_2 substrate, and the crystallinity of the film was determined. For good pn joint properties, it is necessary to have a good connection between two parts. The results show that the temperature is controlled by the temperature, and the Zn solvent is made by using the large-scale β-FeSi_2 crystal with low temperature and temperature ratio. The results show that the optical properties of the above β-FeSi_2 are sensitive to the optical properties. In this paper, the main research results are listed in this paper. 1. β-FeSi_2 crystal grinding, hydrochloric acid, and sulfuric acid have been tested to understand that the growth of the substrate may be effective through the confirmation of the RHEED temperature. 2. The thickness of 100nm and the thickness of β-FeSi_2 film on p-type β-FeSi_2 crystal substrate were measured successfully. 3. On the β-FeSi_2 substrate, the growth temperature of the Si substrate is higher than that of the Fe/Si substrate. The growth temperature of the substrate is higher than that of the Fe/Si film. This time, there are many problems in the control of the film and the control of the system. 4. The growth temperature is high, the temperature is adjusted directly, and the large-scale temperature is tested for a short time to produce a high-temperature temperature. The 5.Zn solvent temperature test angle test results show that the temperature spectrum of the terminal is directly transferred to the temperature-dependent temperature dependence of the transfer end. 6. The β-FeSi_2 photosorbent characteristic spectrum is directly transferred to the end. 7. The polarizing reflectance measurements show that the initial results of the reflectance measurement are clear, and the FLAPW computer calculation results show that the results are consistent with each other.

项目成果

Haruhiko Udono 他3名: "Control of Ga doping level in β-FeSi_2 using Sn-Ga solvent"Materials Science in Semiconductor Processing. 6/5-6. 413-416 (2004)

Haruhiko Udono 等 3 人：“使用 Sn-Ga 溶剂控制 β-FeSi_2 中的 Ga 掺杂水平”，半导体加工材料科学 6/5-6 (2004)。

松村和剛他3名: "Sn溶媒からのベータ鉄シリサイド結晶成長とその電気的特性評価"平成14年度電気学会東京支部茨城支所研究発表会講演予稿集. 19-20 (2002)

Kazutaka Matsumura等3人：“Sn溶剂中β-硅化铁晶体的生长及其电性能的评估”2002年日本电气工程师学会东京分会茨城分会研究报告会议论文集19-20（2002年）。

Haruhiko Udono 他5名: "Optical properties of β-FeSi_2 single crystals grown from so solutions"Thin Solid Films. (in press).

Haruhiko Udono 和其他 5 人：“从溶液中生长的 β-FeSi_2 单晶的光学特性”固体薄膜（正在出版）。

Haruhiko Udono他2名: "Crystal growth of β-FeSi_2 by temperature gradient solution growth method using Zn solvent"J.Crystal Growth. Vol.237-239. 1971-1975 (2002)

Haruhiko Udono 等人 2：“使用 Zn 溶剂的温度梯度溶液生长法进行晶体生长”J.Crystal Growth 第 237-239 卷（2002 年）。