权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

サーフェスエンコーダを搭載した次世代高速高精度Sawyer型平面モータの研究開発

搭载表面编码器的新一代高速高精度Sawyer型平面电机的研发

基本信息

批准号：
04J03393
负责人：
田野誠
金额：
$ 1.79万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2004
资助国家：
日本
起止时间：
2004 至 2006
项目状态：
已结题

项目摘要

1.超精密旋盤と高速工具サーボ機構による円筒加工に加え,平面にも同様に計測基準面の加工を行った.平面マスタを用いてシリコンゴムの一つであるPDMS(ポリジメチルシロキサン)転写を行い,厚さ100μmの計測基準面を得ることに成功した.この方法においてもUV転写と同様に振幅方向でほぼ100%転写されていることを確認している.昨年度行ったUV転写とあわせて2種類の方法で厚さ100μmの計測基準面を創成することに成功した.以上から転写による計測基準面創成方法の有効性を示した.2.大型のSawyer型平面モータシステムを用いて位置決めシステムを構築した.1.のPDMS転写および円筒マスタを用いたUV転写により得られたフィルム状の計測基準面をSawyer型平面モータのプラテン面に貼り付け,フォーサ側に2次元角度センサを搭載してサーフェスエンコーダを構成した.また,2次元角度センサの信号処理回路をフォーサに取り付けることで外部には制御器のみというシンプルな構成にした.制御器にはDSPを用いることで高速な制御が可能となっている.以上のような構成のステージシステムでクローズドループ制御によるXYθz3自由度駆動の位置決め実験を行った.オープンループの位置決め精度50μmと比較して,XY方向に±100nm,θz方向に±4arcsecまで位置決め精度が向上することを示した.以上によって,本研究で提案するステージシステムの有効性を示した.

1. Ultra-precision rotary disc and high-speed tool machining of cylinder, plane and measuring datum. A PDMS(Polymethyl Ester) measurement datum with a thickness of 100μm was successfully prepared. This method is based on the UV spectrum and the amplitude direction is 100%. Two kinds of methods were successfully used to create a measurement datum with a thickness of 100μm. 2. Construction of a large Sawyer type plane with a position determination system 1. Construction of a large Sawyer type plane with a position determination system 2. Construction of a large Sawyer type plane with a position determination system 3. Construction of a large Sawyer type plane with a position determination system 4. Construction of a large Sawyer type plane with a position determination system 5. Construction of a large Sawyer type plane with a position determination system 5. Construction of a large Sawyer type plane with a position determination system 5. The signal processing circuit of the two-dimensional angle sensor is composed of an external controller and an external controller. The controller is designed for DSP applications. The above-mentioned structure of the system is composed of the following: XYθz3 degrees of freedom, position determination and control. Position resolution accuracy 50μm,XY ±100nm,θz ±4arcsec, position resolution accuracy upward The above results show that this research proposal is effective.

项目成果

期刊论文数量（13）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Integration of a Force Sensor into a Fast-Tool-Control Unit for Fabrication of Large Area Microlens Array

将力传感器集成到快速工具控制单元中，用于制造大面积微透镜阵列

DOI：
发表时间：
2006
期刊：
Proc. of International Symposium on Precision Mechanical Measurements
影响因子：
0
作者：
Toshiyuki Hayase;Kenichi Funamoto;Kenichi Funamoto;Kenichi Funamoto;船本健一;Kenichi Funamoto;Kenichi Funamoto;Kenichi Funamoto;Kenichi Funamoto;船本健一;Wei Gao;Tano Makoto;Wei GAO;田野誠;M.Tano
通讯作者：
M.Tano

Identification and compensation of fabrication errors in diamond turning of a large area sinusoidal grid surface

大面积正弦网格面金刚石车削加工误差的识别与补偿