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酸化物電極容量結合型放電による高効率高密度プラズマ生成とその展開

氧化物电极电容耦合放电高效高密度等离子体产生及其发展

基本信息

批准号：
15684011
负责人：
大津康徳
金额：
$ 3.99万
依托单位：
Saga University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
财政年份：
2003
资助国家：
日本
起止时间：
2003 至 2004
项目状态：
已结题

项目摘要

酸化マグネシウムのような酸化物の電極は、プラズマディスプレイの放電部の低電圧駆動やその電極保護膜等に用いられているように、電極からの2次電子放出係数が通常の金属に比べて、数十倍高いと報告されている。一方、容量結合型高周波放電は無電極放電が可能であるので、必ずしも電極からの2次電子放出を必要とせず、高周波電極シースによるフェルミ加速によって加速された電子による衝突電離作用(α作用)のみで放電維持が可能である。この放電は、簡便なプラズマ発生方式であるが、プラズマ密度が低いことが課題として残されている。本研究では、この放電の維持機構であるα作用に高効率な2次電子放出作用を組み合わせることで、プラズマ密度の高密度化を図ることを目的としている。平成16年度では、平成15年度の研究成果を踏まえて、高効率高密度容量結合型プラズマが得られた酸化マグネシウムとチタン酸ストロンチウム電極を用いて、プロセス用プラズマ源や光源への展開に関する基礎的な実験を進めた。次の様な研究結果が得られた。プラズマスパッタリングにおいて、一般的には、アルゴンガスを用いた場合、高いスパッタ率を得られることが知られている。しかし、酸化マグネシウムやチタン酸ストロンチウム電極を容量結合型プラズマスパッタリング源に用いる場合、ネオンガスを導入ガスに用いた方がアルゴンガスに比べて、1桁以上のプラズマ密度が得られ、電離効率向上のみならず、スパッタ率の向上が期待されることが明らかとなった。更に、ネオンガスを用いた場合、アルゴンガスに比べて、発光強度が1桁以上高くなることがわかった。即ち、光源への展開が期待できる成果が得られた。

Acidification of the electrode, the electrode. A square, capacity-combined type high frequency electrode is possible without electrode-based electrode, and the secondary electron emission is necessary. The high frequency electrode is accelerated, accelerated, and electron collision ionization (α-action) is possible. This is a very simple way to develop a business. The purpose of this study is to increase the density of electrons by increasing the efficiency of electron emission. The research results of Heisei 16 and Heisei 15 have been further developed to provide a basis for the development of high-efficiency, high-density, and high-capacity combined-type electrodes. The results of the second study were obtained. The first is the first time in a long time that the Chinese government has made a decision. For example, if the concentration of the acid is higher than 1, the ionization rate is higher than 1, and the concentration of the acid is higher than 1. In addition, when the light source is used, the light intensity is higher than 1. That is, the expansion of the light source is expected and the results are achieved.