Practical application research of large-scale ultra-precision stages driven by non-resonant type actuator for next-generation semiconductor manufacturing

下一代半导体制造用非谐振型执行器驱动的大型超精密平台的实际应用研究

• 批准号: 18760315
• 负责人: HASHIMOTO Seiji
• 金额: $ 2.48万
• 依托单位: Gunma University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18760315/
• 关键词: 超精密ステージ; 非共振型超音波モータ; 可変構造制御; 適応同定; 駆動反力制御; 非線形摩擦; 予測制御; 可変構造制御法; 非線形摩擦補; 周波数可変制御法; 適応制御; 非線形摩擦補償

本研究の目的は、次世代半導体製造用の電子線露光に特化した超精密ステージシステムの開発とその実用化である。この目的に対して、駆動周波数可変制御法に基づくスリップフリー駆動法を提案し、ステージの高精度化とともに高耐久化を達成した。また,可変忘却要素を用いた適応同定法により,経年変化や動特性変化に対して適応的に最適性能を保持する制御系を実現した。同時に、ステージを搭載した反力制御装置付き6自由度アクティブ除振システムを構築し、制御帯域のみを設計パラメータとする同定と制御の統合化設計法を提案し、その有効性を実験により検証した。

The purpose of this study is to develop and implement the ultra-precision semiconductor system for the next generation semiconductor manufacturing. The goal is to control the frequency of vibration and improve the durability of vibration. In addition, the optimal performance of the control system can be maintained by using the appropriate method for the optimization of dynamic characteristics. At the same time, the reaction control device is equipped with 6 degrees of freedom, and the vibration control system is constructed.

项目成果

Identification and Control of Precision XYStages with Active Vibration Suppression System

具有主动振动抑制系统的精密 XYStage 的识别和控制

• 发表时间: 2008
• 期刊: Proc. of the 13th International Conference on Power Electronics and Motion Control Conference ( EPE-PEMC2008) 650
• 作者: S. Hashimoto;S. Goka and T. Kondo;Seiji HASHIMOTO;Seiji HASHIMOTO;Mayumi Nitta;Mayumi Nitta
• 通讯作者: Mayumi Nitta

目標軌跡を考慮した可変構造制御時の過渡応答補償法

考虑目标轨迹的变结构控制瞬态响应补偿方法

• 发表时间: 2009
• 作者: S. Goka;S. Hashimoto;K. Ohishi;T. Ishikawa;S. Adachi;K. Kosaka;H. Kubota and T. Ohmi;橋本 誠司;Sigeki Goka;木暮 雅之;橋本;橋本
• 通讯作者: 橋本

High-Precision Control of Linear Actuators with Nonlinear Friction

具有非线性摩擦的线性执行器的高精度控制

• 发表时间: 2007
• 期刊: Proc. of 14th IEEE International Conference on Mechatronics and Machine Vision in Practice 2007 (M2VIP2007) 23
• 作者: T. N. Minh;K. Ohishi;M. Takada;S. Hashimoto;K. Kosaka;H. Kubota;and T. Ohmi;S. Hashimoto and Y. Fujii
• 通讯作者: S. Hashimoto and Y. Fujii

可変忘却要素を用いた適応同定法による超精密ステージの摩擦補償法

采用可变遗忘元件自适应辨识方法的超精密工作台摩擦补偿方法

• 发表时间: 2007
• 作者: S. Goka;S. Hashimoto;K. Ohishi;T. Ishikawa;S. Adachi;K. Kosaka;H. Kubota and T. Ohmi;橋本 誠司;Sigeki Goka;木暮 雅之;橋本;橋本;橋本;橋本;S. Hashimoto;Masayuki Kigure;橋本
• 通讯作者: 橋本

aterial Tester Using a Controlled Oscillator and an Inertial Mass

使用受控振荡器和惯性质量的材料测试仪

• 发表时间: 2008
• 期刊: Journal of Key Engineering Materials Vols. 381-382
• 作者: 甲斐健也;池野直也;Tatsuya Kai;村山嘉延 ら;乾裕昭 ら;村山嘉延;村山嘉延 ら;村山嘉延;Tomoaki Kobayashi;小林 友明;Tomoaki Kobayashi;S. Hashimoto and Y. Fujii
• 通讯作者: S. Hashimoto and Y. Fujii