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Practical application research of large-scale ultra-precision stages driven by non-resonant type actuator for next-generation semiconductor manufacturing

Practical application research of large-scale ultra-precision stages driven by non-resonant type actuator for next-generation semiconductor manufacturing
下一代半导体制造用非谐振型执行器驱动的大型超精密平台的实际应用研究
批准号：
18760315
负责人：
HASHIMOTO Seiji
金额：
$2.48万
依托单位：
Gunma University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18760315/
关键词：
超精密ステージ非共振型超音波モータ可変構造制御適応同定駆動反力制御非線形摩擦予測制御可変構造制御法非線形摩擦補周波数可変制御法適応制御非線形摩擦補償

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项目成果

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英文摘要
本研究の目的は、次世代半導体製造用の電子線露光に特化した超精密ステージシステムの開発とその実用化である。この目的に対して、駆動周波数可変制御法に基づくスリップフリー駆動法を提案し、ステージの高精度化とともに高耐久化を達成した。また,可変忘却要素を用いた適応同定法により,経年変化や動特性変化に対して適応的に最適性能を保持する制御系を実現した。同時に、ステージを搭載した反力制御装置付き6自由度アクティブ除振システムを構築し、制御帯域のみを設計パラメータとする同定と制御の統合化設計法を提案し、その有効性を実験により検証した。
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会议论文
Identification and Control of Precision XYStages with Active Vibration Suppression System
具有主动振动抑制系统的精密 XYStage 的识别和控制
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： Proc. of the 13th International Conference on Power Electronics and Motion Control Conference ( EPE-PEMC2008) 650
影响因子： --
作者： [S. Hashimoto, S. Goka and T. Kondo, Seiji HASHIMOTO, Seiji HASHIMOTO, Mayumi Nitta, Mayumi Nitta]
通讯作者： Mayumi Nitta
目標軌跡を考慮した可変構造制御時の過渡応答補償法
考虑目标轨迹的变结构控制瞬态响应补偿方法
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [S. Goka, S. Hashimoto, K. Ohishi, T. Ishikawa, S. Adachi, K. Kosaka, H. Kubota and T. Ohmi, 橋本 誠司, Sigeki Goka, 木暮 雅之, 橋本, 橋本]
通讯作者： 橋本
High-Precision Control of Linear Actuators with Nonlinear Friction
具有非线性摩擦的线性执行器的高精度控制
DOI： --
发表时间： 2007
期刊： Proc. of 14th IEEE International Conference on Mechatronics and Machine Vision in Practice 2007 (M2VIP2007) 23
影响因子： --
作者： [T. N. Minh, K. Ohishi, M. Takada, S. Hashimoto, K. Kosaka, H. Kubota, and T. Ohmi, S. Hashimoto and Y. Fujii]
通讯作者： S. Hashimoto and Y. Fujii
可変忘却要素を用いた適応同定法による超精密ステージの摩擦補償法
采用可变遗忘元件自适应辨识方法的超精密工作台摩擦补偿方法
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [S. Goka, S. Hashimoto, K. Ohishi, T. Ishikawa, S. Adachi, K. Kosaka, H. Kubota and T. Ohmi, 橋本 誠司, Sigeki Goka, 木暮 雅之, 橋本, 橋本, 橋本, 橋本, S. Hashimoto, Masayuki Kigure, 橋本]
通讯作者： 橋本
共 22 条
    Intelligent Control Technologies for Digital-Analog Hybrid Switching Power Supply System
    • 批准号：
      23760383
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.75万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      HASHIMOTO Seiji
    • 依托单位：
      Gunma University
    Recovery systems of minor metals based on local steel and nonferrous metal industries
    A Study on car speed control by road space design
    • 批准号：
      21760400
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.75万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      HASHIMOTO Seiji
    • 依托单位：
      Okayama University
    Medium- and long-term strategy of sustainable materials management based on material stock accounts