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Development of a method for surface chemical analysis with atomic-depth resolution using multi-charge ions

Development of a method for surface chemical analysis with atomic-depth resolution using multi-charge ions
开发使用多电荷离子进行原子深度分辨率表面化学分析的方法
批准号：
19360016
负责人：
MOTOHASHI Kenji
金额：
$7.99万
依托单位：
Tokyo University of Agriculture and Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19360016/
关键词：
ビーム応用多価イオン表面分析二次イオン質量分析電子捕獲散乱原子層選別同時計測二次電子水素原子面極性

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
表面の原子層を選別しながら、表面構成原子の種類を高感度に特定できる表面分析法(表面化学分析法)を実現するため、多価イオンを用いた散乱粒子・二次粒子同時測定装置を開発した。多価イオンの持つ反応性の高さと状態選択性の高さを利用することにより、極めて少ない入射イオン量でありながら、表面第1層と第2層を区別しながら表面原子の種類を特定することに成功した。
英文摘要
表面の原子層を選別しながら、表面構成原子の種類を高感度に特定できる表面分析法(表面化学分析法)を実現するため、多価イオンを用いた散乱粒子・二次粒子同時測定装置を開発した。多価イオンの持つ反応性の高さと状態選択性の高さを利用することにより、極めて少ない入射イオン量でありながら、表面第1層と第2層を区別しながら表面原子の種類を特定することに成功した。
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会议论文
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DOI： --
发表时间：
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影响因子： --
作者： [杉山大揮, 他, K. Motohashi]
通讯作者： K. Motohashi
共 23 条
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