Nano-profilometry by spectroscopic Mueller matrix polarimeter

通过光谱穆勒矩阵旋光仪进行纳米轮廓测定

• 批准号: 19360062
• 负责人: OTANI Yukitoshi
• 金额: $ 12.56万
• 依托单位: Tokyo University of Agriculture and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2009
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19360062/
• 关键词: 超精密計測; ナノ形状; 偏光解析; ミュラー行例; 偏光計; ミュラー行列

A spectroscopic Mueller matrix polarimeter which is based on a scatterometry technique is proposed to evaluate the surface profiles of nanostructures. In general, it is difficult to image surface profile structures that are smaller than the wavelength. The surface profiles of nanostructures can be measured by detecting polarization properties based on Mueller matrices. A nanostructure profile is determined from the Mueller matrix which expresses all the polarization properties of the sample by experimental measurements and calculated values using rigorous coupled-wave analysis (RCWA).

提出了一种基于散射测量技术的光谱Mueller矩阵偏振仪来评估纳米结构的表面轮廓。通常，难以对小于波长的表面轮廓结构进行成像。纳米结构的表面轮廓可以通过基于Mueller矩阵检测偏振特性来测量。从Mueller矩阵确定纳米结构轮廓，Mueller矩阵通过使用严格耦合波分析（RCWA）的实验测量和计算值来表达样品的所有偏振特性。

项目成果

Two-dimensional Measurement of Birefringence Dispersion

双折射色散的二维测量

• 发表时间: 2008
• 作者: Yukitoshi Otani;ToshitakaWakayama
• 通讯作者: ToshitakaWakayama

ミュラー行列による微細周期構造の光学特性の評価

使用 Mueller 矩阵评估精细周期结构的光学特性

• 发表时间: 2008
• 作者: Makoto Chujo;YukitoshiOtani;Norihiro Umeda;大谷幸利
• 通讯作者: 大谷幸利

Surface profile detection with nanostructures using a Mueller matrix polarimeter

使用 Mueller 矩阵旋光计检测纳米结构的表面轮廓

• 发表时间: 2008
• 期刊: Proc. SPIE Vol.7063
• 作者: Y. Otani;T. Kuwagaito;Y. Mizutani
• 通讯作者: Y. Mizutani

偏光計測の基礎と応用最前線

偏振测量的基础和应用前沿

• 发表时间: 2009
• 作者: Sigeru Omatu;Sara Rodriguez-Gonzalez;Juan M.Corchado;岡和彦
• 通讯作者: 岡和彦

分光偏光変調による分光偏光・複屈折イメージング

使用光谱偏振调制的光谱偏振/双折射成像

• 发表时间: 2009
• 作者: Yamanaka;Ikuya;Chen Peng,Yamasita Mitsushi;Mitoma;Tetsuro;大谷幸利
• 通讯作者: 大谷幸利