Nano profile measurement by depolarization microscope

通过去偏光显微镜进行纳米轮廓测量

• 批准号: 22360057
• 负责人: OTANI Yukitoshi
• 金额: $ 11.98万
• 依托单位: Utsunomiya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22360057/
• 关键词: 超精密計測; ナノ形状; ミュラー行例; 散乱光解析; 偏光解消; ミュラー行列; ストークス・パラメータ; ナノ計測; 偏光計; 近接場顕微鏡; デポラリゼイション; ナノトポグラメトリー; 2重回転偏光計; ナノ形状計測

An optical fiber type of polarimeter which is based on a depolarization microscopy is proposed to evaluate the surface profiles of nanostructures. The best combination of rotating speed of a retarder and an analyzer for dual rotating Stokes polarimeter is carried out in the proportion of one part to three from generated analysis for Stokes parameters detection. A nanostructure profile is determined from the polarization information which happens reflection and scatter of sample structures by depolarization microscopy

提出了一种基于退偏显微镜的光纤型偏振仪，用于评价纳米结构的表面轮廓。从斯托克斯参数检测的生成分析出发，以1：3的比例进行了双旋转斯托克斯旋光仪中减速器与分析器转速的最佳组合。通过去偏振显微镜对样品结构的反射和散射的偏振信息来确定纳米结构的轮廓

项目成果

All polarization properties of PLZT ferroelectric ceramics observed in two dimensional distributions under applied voltage by the Mueller matrix

Mueller 矩阵在施加电压下以二维分布观察到的 PLZT 铁电陶瓷的所有极化特性

• DOI: 10.1016/j.sna.2012.11.023
• 发表时间: 2013
• 期刊: Sensors and Actuators A : Physical
• 作者: Makoto Ginya;Yasuhiro Mizutani;Tetsuo Iwata;Yukitoshi Otani
• 通讯作者: Yukitoshi Otani

Imaging Stokes polarimeter by dual rotating retarder and analyzer and its application of evaluation of Japanese lacquer

双旋转延迟器和分析器成像斯托克斯旋光仪及其在日本漆评价中的应用

• 发表时间: 2012
• 作者: W.X. Wang;C. Li;Y. Sakata;R. Momoda;and C.N. Xu;Ryota Mizutani
• 通讯作者: Ryota Mizutani

広ダイナミックレンジ光強度検出機構を用いたストークス散乱偏光計

采用宽动态范围光强度检测机制的斯托克斯散射旋光计

• 发表时间: 2012
• 作者: Z. Zhang;J. Yan;and T. Kuriyagawa;江馬雅好,喜入朋宏,茨田大輔,早崎芳夫,大谷幸利,谷田貝豊彦
• 通讯作者: 江馬雅好,喜入朋宏,茨田大輔,早崎芳夫,大谷幸利,谷田貝豊彦

Nano-structure inspection by dual-rotating Mueller matrix spectro-polarimeter

双旋转穆勒矩阵分光旋光仪检测纳米结构

• 发表时间: 2012
• 作者: 渡辺知規;胡寧;早崎芳夫;Yukitoshi Otani
• 通讯作者: Yukitoshi Otani

Stokes polarimeter with optical fiber probe

带光纤探头的斯托克斯旋光计

• 发表时间: 2011
• 作者: R.Mizutani;Y.Otani
• 通讯作者: Y.Otani