OPTICAL 3-POINT MEASUREMENT SYSTEM OF BALL SCREW'S LEAD ERROR USING LASER BEAM

点击翻译按钮获取中文摘要

本研究の目的は光学式3点測定法の原理と4分割光検出器を適用することによってボールねじ溝形状を測定し,そこからねじ軸単体のリード精度、ねじ溝の形状精度およびねじ軸の振れ回りを評価する光学式非接触計測システムを開発することである.小径レーザビーム3本を用いた測定システムを構築し,ボールねじ全ストロークに渡って溝形状の測定を行い,累積リード誤差,一回転あたりの変動,ねじ溝の半径方向幾何形状精度を求めた.累積リード誤差および一回転あたりの変動はそれぞれ被測定ボールねじのJIS 規格を満たしていることが確認できた.しかしながら,実リード曲線にはノイズと見られる高周波の振動が乗っているので今後の検討が必要である.また,任意の3箇所のデータを取り出して半径方向幾何形状精度を計算したところ,いずれの箇所においても2山成分と4山成分が支配的であることがわかった.