Effects of Surface Roughness on Application of Micro Displacement Characteristics to Nano-positioning

表面粗糙度对微位移特性在纳米定位中应用的影响

• 批准号: 19560133
• 负责人: KAWAGUCHI Takahisa
• 金额: $ 2.25万
• 依托单位: Utsunomiya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560133/
• 关键词: 位置決め; 摩擦; ナノスケール; 固体表面; セラミックス; 真実接触面積; スパッタ薄膜; SPM

本研究では, 摩擦を利用した駆動機構として, 接触する二面間に接線力を作用させたときの微小変位特性を利用して, ナノメータオーダの分解能をもつ位置決め機構について検討を行った. その結果, 種々の表面粗さを有する二面間の繰返し微小変位特性を用いた精密送りを分解能1nmで実現できる可能性が得られた.

In this study, friction is used to determine the position of the contact force between the two surfaces. As a result, the surface roughness of the seed has been reduced, and the micro-displacement characteristics between the two surfaces have been reduced.

项目成果

スパッタ薄膜による微細接触部の検出について

使用溅射薄膜检测微小接触

• 发表时间: 2008
• 作者: 佐々木敏彦;高橋俊一;佐々木勝成;小林裕一;川口尊久
• 通讯作者: 川口尊久

接線力による固体表面問の微小変位特性のナノ位置決めへの応用について

固体表面切向力微小位移特性在纳米定位中的应用

• 发表时间: 2008
• 作者: 山田崇恭;西脇眞二;泉井一浩;吉村允孝;竹澤晃弘;川口尊久
• 通讯作者: 川口尊久

線接触における油膜厚さについて

关于线接触油膜厚度

• 发表时间: 2008
• 作者: 佐々木敏彦;高橘俊一;佐々木勝成;小林裕一;畑沢鉄三
• 通讯作者: 畑沢鉄三

微小変位特性のナノ位置決めへの応用

微小位移特性在纳米定位中的应用

• 发表时间: 2007
• 作者: 木下慎也;西脇眞二;泉井一浩;吉村允孝;野村壮史;佐藤和夫;川口尊久
• 通讯作者: 川口尊久

スラスト針状ころ軸受の摩擦トルクについて

关于推力滚针轴承的摩擦力矩

• 发表时间: 2007
• 作者: 青山英雄;本田知己;岩井善郎;佐々木徹;畑沢鉄三
• 通讯作者: 畑沢鉄三