Dynamics of formation of ultra-hard thin films of amorphous carbon nitride by energy-controlled ion bombardment
能量控制离子轰击非晶氮化碳超硬薄膜形成动力学
基本信息
- 批准号:19560699
- 负责人:
- 金额:$ 3万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2007
- 资助国家:日本
- 起止时间:2007 至 2009
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
アルゴンなどの放電気体と炭素原子を含む気体分子を反応させると、原料分子が分解しアモルファス炭素系薄膜が形成する。特に基板ステージに外部から負の自己バイアス電圧を印加すると、放電中の正イオンが基板に引き寄せられて膜表面を衝撃し、高硬度の薄膜が得られる。この方法を用いて、本研究ではアモルファス窒化炭素、水素化されたアモルファス炭化ケイ素、の各薄膜を形成させ、イオン衝撃の化学的過程を議論した。その結果、プラズマ中のイオンが膜表面を衝撃することにより膜中の水素原子がはじき出され、それに引き続く再結合過程によって一次元的な高分子型構造が三次元的なダイヤモンド型構造へと変化し、膜硬度が上昇することが見出された。
The formation of carbon thin films by the decomposition of carbon atoms and molecules containing carbon atoms Special substrate temperature range from negative to negative, voltage range from positive to negative, substrate temperature range from negative to positive, film surface range from impact to high hardness film range This paper discusses the chemical process of carbon, hydration, carbonization, and film formation. As a result, the water atoms in the film are released from the film surface, and the water atoms in the film are re-combined. The one-dimensional polymer structure is transformed into the three-dimensional polymer structure, and the film hardness is increased.
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
アモルファス炭素系材料合成のためのプラズマ分子分光計測第3回二原子ブリーラジカルのエネルギー準位
用于合成无定形碳基材料的等离子体分子光谱测量第 3 部分:双原子 brei 自由基的能级
- DOI:
- 发表时间:2008
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:T. Matsui;R. Sato and H. Tsuda;伊藤治彦
- 通讯作者:伊藤治彦
Deposition of Mechanically Hard Amorphous Carbon Nitride Films with High [N]/([N]十[c]) Ratio
沉积具有高 [N]/([N]ten[c]) 比的机械硬质非晶氮化碳薄膜
- DOI:
- 发表时间:2008
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:H. Ito;H. Saitoh
- 通讯作者:H. Saitoh
Arのマイクロ波放電フロー中でのテトラメチルシランの分解を用いた硬質a-SiC_χ膜の形成(2)局所構造解析
Ar微波放电流中四甲基硅烷分解形成硬质a-SiC_χ薄膜(2)局部结构分析
- DOI:
- 发表时间:2010
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:和田晃;大柿猛;新部正人;田州雅人;齋藤秀俊;神田一浩;伊藤治彦
- 通讯作者:伊藤治彦
Arのマイクロ波放電フローを用いたアモルファス炭化ケイ素膜の形成
利用Ar微波放电流形成非晶碳化硅薄膜
- DOI:
- 发表时间:2009
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:大柿猛;戸田育民;赤坂大樹;齋藤秀俊;伊藤治彦
- 通讯作者:伊藤治彦
ArのECRプラズマを用いたCH3CNの解離励起反応解析
使用 Ar ECR 等离子体分析 CH3CN 的解离激发反应
- DOI:
- 发表时间:2009
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:鬼束さおり;越村克明;齋藤秀俊;伊藤治彦
- 通讯作者:伊藤治彦
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Elucidation of Mechanism of Film Hardening of Amorphous CarbonsBased on the High-Resolution Laser Spectroscopy
基于高分辨率激光光谱阐明非晶碳膜硬化机理
- 批准号:
22560020 - 财政年份:2010
- 资助金额:
$ 3万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Control of hydrogen content in the carbon nitride materials and its development to the field emission devices based on the high-resolution laser spectroscopy
氮化碳材料中氢含量的控制及其基于高分辨率激光光谱的场发射器件的开发
- 批准号:
14550721 - 财政年份:2002
- 资助金额:
$ 3万 - 项目类别:
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基于表面反应概率测量的超硬氮化碳薄膜涂层技术的建立
- 批准号:
13555197 - 财政年份:2001
- 资助金额:
$ 3万 - 项目类别:
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基于阈值电离质谱诊断的超硬氮化碳薄膜合成原理的建立
- 批准号:
11650760 - 财政年份:1999
- 资助金额:
$ 3万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)