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Development of plasma-assisted coating method of narrow inner surface for micro molds and small advanced mechanical components

Development of plasma-assisted coating method of narrow inner surface for micro molds and small advanced mechanical components
开发用于微型模具和小型先进机械部件的窄内表面等离子辅助涂层方法
批准号：
19740343
负责人：
KOUSAKA Hiroyuki
金额：
$2.4万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19740343/
关键词：
DLCマイクロ波内面細穴高アスペクト比プラズマ微小口径

项目摘要

项目成果

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本研究により, 従来法では困難であった内径がミリメートルサイズの細穴内面へのDLC(Diamond-Like Carbon)成膜が可能となった.また, 細穴内を伝搬する電磁波の電磁界分布と電磁波からパワーを吸収することによって生成維持されるプラズマの分布とをSelf-consistentに解析できるシミュレーションコードを開発・運用し, 細穴内面の電磁界構造を明らかにするとともに, より長尺の細穴内面で均一にプラズマを生成するための指針を得た.
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会议论文
MVP法による細穴内面プラズマ処理・DLCコーティング法の開発(招待)
使用MVP法开发小孔内表面等离子体处理和DLC涂层方法（邀请）
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [Okazaki R., Nakamura T, 三沢達也, 上坂裕之]
通讯作者： 上坂裕之
Tribological properties of diamond-like carbon film deposited on the inner surface of metal tube by using microwave-excited high-density plasma
微波激发高密度等离子体在金属管内表面沉积类金刚石碳膜的摩擦学性能
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [Hiroyuki Kousaka, Mori Kazunori, Tamura Noboru, etc.]
通讯作者： etc.
微小口径金属管内に生成されるマイクロ波励起高密度プラズマの電子密度分布
微径金属管内微波激发高密度等离子体的电子密度分布
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [門脇慎之介, 上坂裕之, 他]
通讯作者： 他
New DLC Coating Technology (Invited)
新型DLC涂层技术（特邀）
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [Yoshiyuki Suda, et.al., H. Kousaka]
通讯作者： H. Kousaka
共 23 条
    Realization of non-lubricated sliding between polymer gasket and cylinder by using controlling surface mechanical property of material
    • 批准号：
      23760695
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      KOUSAKA Hiroyuki
    • 依托单位：
      Nagoya University
    Development of mirco DLC coating method using high-density plasma flow generated by pulsed arc discharge
    • 批准号：
      21760581
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.83万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      KOUSAKA Hiroyuki
    • 依托单位：
      Nagoya University
    海外基金