Development of plasma-assisted coating method of narrow inner surface for micro molds and small advanced mechanical components

开发用于微型模具和小型先进机械部件的窄内表面等离子辅助涂层方法

• 批准号: 19740343
• 负责人: KOUSAKA Hiroyuki
• 金额: $ 2.4万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19740343/
• 关键词: DLC; マイクロ波; 内面; 細穴; 高アスペクト比; プラズマ; 微小口径

本研究により, 従来法では困難であった内径がミリメートルサイズの細穴内面へのDLC(Diamond-Like Carbon)成膜が可能となった.また, 細穴内を伝搬する電磁波の電磁界分布と電磁波からパワーを吸収することによって生成維持されるプラズマの分布とをSelf-consistentに解析できるシミュレーションコードを開発・運用し, 細穴内面の電磁界構造を明らかにするとともに, より長尺の細穴内面で均一にプラズマを生成するための指針を得た.

这项研究使得将DLC（钻石样碳）膜沉积在狭窄孔的内表面，其内径是毫米大小的内径，这对于常规方法很难做到。我们还开发了和操作的模拟代码，可以自我一致地分析狭窄孔中传播的电磁波的电磁场分布以及通过电磁波吸收功率产生和维持的等离子体的分布，并且我们获得了用于在狭窄孔的内表面上产生集体物的指南。

项目成果

MVP法による細穴内面プラズマ処理・DLCコーティング法の開発(招待)

使用MVP法开发小孔内表面等离子体处理和DLC涂层方法（邀请）

• 发表时间: 2009
• 作者: Okazaki R.;Nakamura T;三沢達也;上坂裕之
• 通讯作者: 上坂裕之

Tribological properties of diamond-like carbon film deposited on the inner surface of metal tube by using microwave-excited high-density plasma

微波激发高密度等离子体在金属管内表面沉积类金刚石碳膜的摩擦学性能

• 发表时间: 2009
• 作者: Hiroyuki Kousaka;Mori Kazunori;Tamura Noboru;etc.
• 通讯作者: etc.

微小口径金属管内に生成されるマイクロ波励起高密度プラズマの電子密度分布

微径金属管内微波激发高密度等离子体的电子密度分布

• 发表时间: 2008
• 作者: 門脇慎之介;上坂裕之;他
• 通讯作者: 他

New DLC Coating Technology (Invited)

新型DLC涂层技术（特邀）

• 发表时间: 2008
• 作者: Yoshiyuki Suda;et.al.;H. Kousaka
• 通讯作者: H. Kousaka

Tribological properties of di-amond-like carbon film deposited on the inner surface of metal tube by using micro-wave-excited high-density plasma

微波激发高密度等离子体在金属管内表面沉积类金刚石碳膜的摩擦学性能

• 发表时间: 2009
• 作者: Hiroyuki Kousaka;Mori Kazunori;Tamura Noboru;etc.
• 通讯作者: etc.