Development of plasma-assisted coating method of narrow inner surface for micro molds and small advanced mechanical components

开发用于微型模具和小型先进机械部件的窄内表面等离子辅助涂层方法

• 批准号: 19740343
• 负责人: KOUSAKA Hiroyuki
• 金额: $ 2.4万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19740343/
• 关键词: DLC; マイクロ波; 内面; 細穴; 高アスペクト比; プラズマ; 微小口径

本研究により, 従来法では困難であった内径がミリメートルサイズの細穴内面へのDLC(Diamond-Like Carbon)成膜が可能となった.また, 細穴内を伝搬する電磁波の電磁界分布と電磁波からパワーを吸収することによって生成維持されるプラズマの分布とをSelf-consistentに解析できるシミュレーションコードを開発・運用し, 細穴内面の電磁界構造を明らかにするとともに, より長尺の細穴内面で均一にプラズマを生成するための指針を得た.

In this study, DLC(Diamond-Like Carbon) film formation on the inner surface of fine pits is possible. The electromagnetic field distribution and absorption of electromagnetic waves in the cavity are analyzed and maintained. The electromagnetic field structure of the cavity inner surface is analyzed and developed. The electromagnetic field structure of the cavity inner surface is analyzed and developed. The electromagnetic field distribution and absorption of electromagnetic waves in the cavity inner surface are generated and maintained.

项目成果

MVP法による細穴内面プラズマ処理・DLCコーティング法の開発(招待)

使用MVP法开发小孔内表面等离子体处理和DLC涂层方法（邀请）

• 发表时间: 2009
• 作者: Okazaki R.;Nakamura T;三沢達也;上坂裕之
• 通讯作者: 上坂裕之

Tribological properties of diamond-like carbon film deposited on the inner surface of metal tube by using microwave-excited high-density plasma

微波激发高密度等离子体在金属管内表面沉积类金刚石碳膜的摩擦学性能

• 发表时间: 2009
• 作者: Hiroyuki Kousaka;Mori Kazunori;Tamura Noboru;etc.
• 通讯作者: etc.

微小口径金属管内に生成されるマイクロ波励起高密度プラズマの電子密度分布

微径金属管内微波激发高密度等离子体的电子密度分布

• 发表时间: 2008
• 作者: 門脇慎之介;上坂裕之;他
• 通讯作者: 他

New DLC Coating Technology (Invited)

新型DLC涂层技术（特邀）

• 发表时间: 2008
• 作者: Yoshiyuki Suda;et.al.;H. Kousaka
• 通讯作者: H. Kousaka

Novel DLC synthesis method employing high-density plasma sustained by microwave propagation along plasma-sheath interface (Invited)

采用沿等离子体-鞘界面微波传播维持高密度等离子体的新型DLC合成方法（特邀）

• 发表时间: 2009
• 作者: Youhei Hizume;et.al.;三沢達也,鹿谷昇,川上雄士,円城寺隆志,大津康徳;Hiroyuki Kousaka and Noritsugu Umehara
• 通讯作者: Hiroyuki Kousaka and Noritsugu Umehara