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Research of single mode semiconductor membrane laser on SOI waveguide

Research of single mode semiconductor membrane laser on SOI waveguide
SOI波导单模半导体薄膜激光器研究
批准号：
19760231
负责人：
MARUYAMA Takeo
金额：
$2.16万
依托单位：
Kanazawa University (2008)Tokyo Institute of Technology (2007)
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
财政年份：
2007
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2007 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19760231/
关键词：
半導体レーザ集積レーザシリコンフォトニクス光集積回路分布帰還形レーザウエハボンディング光導波路SOI

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项目成果

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チップ間光インターコネクションを行うためには、電子デバイスと光デバイスとをチップ内に集積する必要があり、そのための技術開発が急務となる。本研究は、これまで半導体レーザとして実績のあるIII-V族化合物半導体(GaInAsP/InP)をSOI基板に直接貼り付けることによりシリコンLSI上での集積化に適した単一モード半導体レーザの作製を行った。その結果、SOI基板上への光励起における単一モード発振および高温(80℃)動作、さらに電流注入構造を試作し、LEDおよびレーザ発振を実現した。
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会议论文
Evaluation of Si wire waveguide fabricated by parallel plate RIE process using double layered EB resist containing C60
使用含有 C60 的双层 EB 抗蚀剂通过平行板 RIE 工艺制造的硅线波导的评估
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Inoue, N. Nishiyama, H. Enomoto, S. Tamura, T. Maruyama and S. Arai]
通讯作者： T. Maruyama and S. Arai
直接貼付法によるSOI基板上注入形GaInAsP/InP DFBレーザ
采用直接附着法在 SOI 衬底上注入型 GaInAsP/InP DFB 激光器
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [奥村忠嗣, 丸山武男, 米澤英徳, 西山伸彦, 荒井滋久]
通讯作者： 荒井滋久
Polarization anisotropy of spontaneous emission spectra in GaInAsP/InP quantum-wire structures
GaInAsP/InP 量子线结构中自发发射光谱的偏振各向异性
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： Jpn. J. Appl. Phys. vol. 47, no. 5
影响因子： --
作者： [D. Plumwongrot, T. Maruyama, A. Haque, H. Yagi, K. Miura, Y. Nishimoto and S. Arai]
通讯作者： Y. Nishimoto and S. Arai
Micro-photoluminescence characterizations of GaInAsP/InP single quantum wires fabricated by dry etching and regrowth
干法刻蚀再生长GaInAsP/InP单量子线的微光致发光表征
DOI： --
发表时间： 2007
期刊： J. Appl. Phys. vol. 102, no. 9
影响因子： --
作者： [H. Itoh, M. Yoshita, H. Akiyama, D. Plumwongrot, T. Maruyama and S. Arai]
通讯作者： T. Maruyama and S. Arai
共 64 条
    Amorphous/Crystalline Hybrid Silicon Photonic Integrated Circuits
    • 批准号：
      24760271
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
    • 资助金额：
      $2.66万
    • 财政年份：
      2012
    • 负责人：
      MARUYAMA Takeo
    • 依托单位：
      Kanazawa University
    Evaluation of viscoelastic property of leg and shoes using accelerometer
    • 批准号：
      21500583
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.33万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      MARUYAMA Takeo
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    Development of a common program for Engineering Education supporting "Monodukuri" in the University curriculum
    • 批准号：
      16300250
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.95万
    • 财政年份：
      2004
    • 负责人：
      MARUYAMA Takeo
    • 依托单位：
      Niigata University
    The evaluation of the cushioning properties in sport shoes on the basis of human's adaptation by muscle turning.
    • 批准号：
      15500433
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.3万
    • 财政年份：
      2003
    • 负责人：
      MARUYAMA Takeo
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    海外基金