Cylinder rod surface coating using sputtering deposition method with modulated magnetic field

采用调制磁场溅射沉积方法进行缸杆表面涂层

• 批准号: 20340164
• 负责人: KAWASAKI Hiroharu
• 金额: $ 6.99万
• 依托单位: Sasebo National College of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2008 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-20340164/
• 关键词: マグネトロンスパッタリング; ハードコーティング; 変調磁界; 3相交流磁界; スパッタリング; プラズマプロセス; 摩擦係数; 耐摩耗

Tungsten, carbon and titanium thin films were prepared on the carbide steel cylinder rod using new magnetron sputtering deposition method to prevent their corrosion and/or increasing friction resistance. In the deposition, plasmas were generated between cylinder rod anode substrate and cylinder pipe targets. Experimental results suggest that plasma density distribution move to the axial direction using modulated magnetic field generated by low frequency alternating coil current. Deposition rate and film uniformity increased using modulated magnetic field, and corrosion resistance and friction resistance were increased by this hard coating.

采用新型磁控溅射沉积方法在碳化钢圆筒棒上制备了钨、碳和钛薄膜，以防止其腐蚀和增加摩擦阻力。在沉积过程中，圆柱体棒阳极衬底与圆柱体管靶之间产生等离子体。实验结果表明，利用低频交流线圈电流产生的调制磁场，等离子体密度分布向轴向移动。利用调制磁场提高了镀层的沉积速率和均匀性，并提高了镀层的耐蚀性和耐摩擦性。

项目成果

Studies on allergic substance elimination by RF plasma treatment

射频等离子体治疗消除过敏物质的研究

• 发表时间: 2010
• 期刊: Transactions of the Materials Research Society of Japan
• 作者: Y.Yagyu;A.Hikita;N.Hayashi;H. Kawasaki;T.Ohshima;Y.Suda
• 通讯作者: Y.Suda

Optical study of the low discharge power magnetron sputtering plasma using pure tungsten target

纯钨靶材低放电功率磁控溅射等离子体的光学研究

• 发表时间: 2010
• 期刊: Jpn.J.Appl.Phys.
• 作者: T.Matsunaga;T.Ohshima;H.Kawasaki;T.Kaneko;Y.Yagyu;Y.Suda
• 通讯作者: Y.Suda

Study on the behavior of the Plasma Plume and Film Quality using Pulsed Laser Deposition with Tungsten Target

钨靶脉冲激光沉积等离子体羽流行为和薄膜质量研究

• 发表时间: 2009
• 期刊: Trasactions of the Materials Research Society of Japan Vol.34(In press)
• 作者: H.Kawasaki;T.Ohshima;Y.Yagyu;Y.Suda
• 通讯作者: Y.Suda

レーザーアブレーション法によるAlドープ酸化亜鉛薄膜の作製

激光烧蚀法制备Al掺杂氧化锌薄膜

• 发表时间: 2010
• 作者: T. Mori;K. Notsu;村上雄紀
• 通讯作者: 村上雄紀

Trasactions of the Materials Research Society of Japan

日本材料研究会会刊

• 发表时间: 2010
• 期刊: Vol.35[1]
• 作者: Yoshihito YAGYU;Akira HIKITA;Nobuya HAYASHI;Hiroharu KAWASAKI,Tamiko OHSHIMA;Yoshiaki SUDA
• 通讯作者: Yoshiaki SUDA