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Preparation of functional hard coating materials by high density pulsed plasma ion implantation

Preparation of functional hard coating materials by high density pulsed plasma ion implantation
高密度脉冲等离子体离子注入制备功能性硬涂层材料
批准号：
17K06298
负责人：
KIMURA Takashi
金额：
$3.08万
依托单位：
Nagoya Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2017
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2017-04-01 至 2020-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17K06298/
关键词：
プラズマ材料プロセス薄膜作製イオン注入パルスプラズマハードコーティングスパッタプラズマイオンプロセスダイヤモンドライクカ―ボン導電性シリコンド－プハイパワーパルススパッタプラズマペニング放電ダイヤモンドライクカ－ボン窒素ドープ対向タ－ゲット方式プラズマイオン注入窒素イオンハイパワ－パルススパッタハードコーティング材料

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Deposition of Si-doped DLC films by reactive HiPIMS combined with PBII system
反应性 HiPIMS 结合 PBII 系统沉积 Si 掺杂 DLC 薄膜
DOI： --
发表时间： 2019
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Kimura, Y. Shibata, S. Nakao, K. Azuma]
通讯作者： K. Azuma
Deposition and ion irradiation multi-process coating of diamond-like carbon films using bipolar type plasma-based ion implantation
双极型等离子体离子注入沉积和离子辐照多工艺镀覆类金刚石碳膜
DOI： --
发表时间： 2018
期刊：
影响因子： --
作者： [S. Nakao, H. Yanai, T.Kimura, K. Azuma]
通讯作者： K. Azuma
Plasma based nitrogen ion implantation to hydrogenated diamond-like carbon films
DOI： 10.1016/j.nimb.2018.08.009
发表时间： 2018-10
期刊： Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
影响因子： --
作者： [T. Kimura;Hidekazu Yanai;S. Nakao;K. Azuma]
通讯作者： T. Kimura;Hidekazu Yanai;S. Nakao;K. Azuma
Preparation of silicon-doped diamond-like carbon films with electrical conductivity by reactive high-power impulse magnetron sputtering combined with a plasma-based ion implantation system
反应高功率脉冲磁控溅射结合等离子体离子注入系统制备导电硅掺杂类金刚石碳薄膜
DOI： 10.1016/j.diamond.2019.107635
发表时间： 2020
期刊： Diamond and Related Materials
影响因子： 4.1
作者： [Y. Shibata, T. Kimura, S. Nakao, K. Azuma]
通讯作者： K. Azuma
共 9 条
    Development of equipment for multi-purpose materials processing by ions produced in high-density pulsed discharge plasmas
    • 批准号：
      26420230
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.16万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      KIMURA Takashi
    • 依托单位：
      Nagoya Institute of Technology
    Innovative multiple-bit information writing using local pure spin current injection
    • 批准号：
      23651150
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.41万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      KIMURA Takashi
    • 依托单位：
      Kyushu University
    Development of hard deformable focusing mirror for general-purpose hard X-ray optics.
    • 批准号：
      23860001
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
    • 资助金额：
      $1.83万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      KIMURA Takashi
    • 依托单位：
      Hokkaido University
    Development of efficient magnetic refrigeration technique using pure spin current
    • 批准号：
      22246003
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $26.54万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      KIMURA Takashi
    • 依托单位：
      Kyushu University
    海外基金