Prozessoptimierung beim selektiven Schichtabtrag an schwach absorbierenden, stark streuenden Biomaterialsystemen mit ultrakurzen Laserimpulsen

使用超短激光脉冲选择性去除弱吸收、高散射生物材料系统的层的工艺优化

• 批准号: 5375766
• 负责人: Professor Dr. Jürgen Beuthan
• 金额: --
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2002
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2001-12-31 至 2005-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5375766?language=en
• 关键词: Prozessoptimierung; beim; selektiven; Schichtabtrag; schwach

Bei der Laser-Präzisionsbearbeitung an stark streuenden und schwach absorbierenden Materialkombinationen führten bisherige überwiegend phänomenologische Untersuchungen zu keinen verifizierten Prozessgrenzen - wiesen aber auf ein hohes Potential der Applikation ultrakurzer Laesrimpulse hin. Beispielgebend mögen dafür Zweischichtsysteme der Biomedizin und dünne Sensorschichten der analytischen Proteomik genannt sein. Das geplante Projekt muss deshalb Erkenntnisse zur Ultrakurzzeit-Lasertechnik, Lösungen zur Energieeinkopplung unter gewebeoptischen Bedingungen und der sog. Mikrodosimetrie (betr. TrägerschichtSchädigung) zusammenführen und die Energiebilanz modellhaft formuliert werden. Die experimentelle Validierung erfolgt durch Variation von Wellenlänge, Laserpulslänge, Strahlungsintensität bei festen optisch-thermischen Materialparametern. Im Endergebnis ist an den Phasengrenzen zwischen thermischen und auch athermischen Materialreaktionen eine jeweils materialadaptive Wahl der Laserparameter zur optimalen Präzisionsbearbeitung zu treffen.

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