ナノメータスケールの高精度位置決めによる3次元集積化

ウエハの接合にあたり、前年度の知見をもとに、プラズマ活性化の最適な接合条件を検討した。さらに、その上で、従来試みられていなかった水のプラズマ化による表面活性化の検討を行った。ガラスウエハに対して、フッ素添加の酸素プラズマによる表面活性化に加え、水を添加した水プラズマが有効であることを示した。これは、ウエハ表面の親水性は接合の可否に大きく影響していることが示され、これが、水とフッ素の相乗作用で最適化されたものと考えられる。さらに、従来のプ真空中でのイオン衝撃活性化との組み合わせを検討した。シリコンに対しては有効であったが、ガラス基板については、大きな差は見られなかった。これは、シリコンについてはフッ素の反応性が高いのに対し、ガラスについては疎水化のコントロールが難しいためと考えられる。ガラス基板の接合は、マイクロチャネンルを作成したバイオデバイスの試作を行い、本接合手法が有効であることを示した。銅貫通電極の接合に対して、銅の接合への適用の検討を行った。銅表面に水和物が形成されることにより、大気中での接合も可能であることが示された。詳細はさらに検討中である。

ウエハの接合にあたり、前年度の知見をもとに、プラズマ活性化の最適な接合条件を検討した。さらに、その上で、従来試みられていなかった水のプラズマ化による表面活性化の検討を行った。ガラスウエハに対して、フッ素添加の酸素プラズマによる表面活性化に加え、水を添加した水プラズマが有効であることを示した。これは、ウエハ表面の親水性は接合の可否に大きく影響していることが示され、これが、水とフッ素の相乗作用で最適化されたものと考えられる。さらに、従来のプ真空中でのイオン衝撃活性化との組み合わせを検討した。シリコンに対しては有効であったが、ガラス基板については、大きな差は見られなかった。これは、シリコンについてはフッ素の反応性が高いのに対し、ガラスについては疎水化のコントロールが難しいためと考えられる。ガラス基板の接合は、マイクロチャネンルを作成したバイオデバイスの試作を行い、本接合手法が有効であることを示した。銅貫通電極の接合に対して、銅の接合への適用の検討を行った。銅表面に水和物が形成されることにより、大気中での接合も可能であることが示された。詳細はさらに検討中である。