Novel Room-temperature Fluorine Containing Plasma Activated Bonding and Its Improvements
Novel Room-temperature Fluorine Containing Plasma Activated Bonding and Its Improvements
复制标题
新型室温含氟等离子体激活键合及其改进
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Chenxi Wang
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chenxi Wang;Shingo Taniyama;Ying-Hui Wang;Tadatomo Suga;Chenxi Wang;Tadatomo Suga;Chenxi Wang
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影响因子：
4.6
作者：
Takagi, H;Maeda, R;Suga, T
通讯作者：
Suga, T
Cu-Cu室温键合 - 表面活化键合(SAB)的现状 -
DOI：
10.1149/1.2357065
发表时间：
2006
期刊：
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影响因子：
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作者：
T. Suga
通讯作者：
T. Suga
影响因子：
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作者：
Howlader, M. M. R.;Suehara, S.;Suga, T.
通讯作者：
Suga, T.
中真空对低温晶圆键合的影响
影响因子：
2.3
作者：
W. Yu;C. Tan;Jun Wei;Shu Sheng Deng;G. Huang
通讯作者：
G. Huang
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
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影响因子：
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作者：
童勤义
通讯作者：
童勤义