PREPARATION OF FILMS WITH NANO POROUS STRUCTURES BY GAS-PHASE PLASMA SYNTHESIS AND TRANSPORT CONTROL OF HIGHLY-DISPERSED NANOPARTICLES

气相等离子体合成纳米多孔结构薄膜的制备及高分散纳米颗粒的输运控制

• 批准号: 21360380
• 负责人: SHIMADA Manabu
• 金额: $ 11.23万
• 依托单位: Hiroshima University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21360380/
• 关键词: ナノ材料; 薄膜・微粒子形成操作; 微粒子移動操作; 非凝集粒子; 堆積

Thin films having pores at a nano scale level are expected to show useful functions. In this study, we aimed at developing a novel gas-phase process for preparing such porous films. The particle synthesis in gas followed by their transport to and deposition on a substrate was experimentally investigated. Films with a uniform nano porous structure were found to be prepared by using non-agglomerated nanoparticles. The effects of particle size and agglomeration, deposition conditions, and heat treatment to the films were also clarified, leading to obtaining the directions for controlling the preparation of porous films

具有纳米级孔的薄膜有望显示出有用的功能。在这项研究中，我们旨在开发一种新的气相工艺来制备这种多孔膜。实验研究了气体中粒子的合成、迁移和沉积过程。采用非团聚的纳米颗粒制备了具有均匀纳米孔结构的薄膜。阐明了颗粒大小和团聚、沉积条件、热处理对多孔膜的影响，得出了控制多孔膜制备的方向

项目成果

基板上付着微粒子による水分介在汚染現象

由于附着在基材上的细颗粒而引起的水分介导的污染现象

• 发表时间: 2011
• 作者: 棚橋克臣;中西雅教;島田学;長池宏史;守屋剛
• 通讯作者: 守屋剛

Plasma Synthesis of Composite Films Using Gaseous and Aerosol Precursors

使用气态和气溶胶前体等离子体合成复合薄膜

• 发表时间: 2010
• 作者: Shimada;M.
• 通讯作者: M.

非凝集ナノサイズ粒子の気相堆積による薄膜構造の形成

通过气相沉积非团聚纳米尺寸颗粒形成薄膜结构

• 发表时间: 2011
• 作者: 石原悠;飯田大樹;島田学
• 通讯作者: 島田学

Defect Grown from aFine Particle as Its Nucleus on a Si Wafer

硅晶片上以细颗粒为核生长的缺陷

• 发表时间: 2010
• 作者: Hiroshi Nagaike;Tsuyoshi Moriya;Manabu Shimada;Keigo Nakashima and Katsuomi Tanahashi
• 通讯作者: Keigo Nakashima and Katsuomi Tanahashi

ナノクラスターの気相堆積で形成される薄膜構造の評価

纳米团簇气相沉积形成的薄膜结构的评价

• 发表时间: 2010
• 作者: 飯田大樹;島田学
• 通讯作者: 島田学