Development of ultrasonic atomic force microscopy for nondestructive evaluation of thin films

开发用于薄膜无损评估的超声原子力显微镜

• 批准号: 21760577
• 负责人: TSUJI Toshihiro
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2010
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21760577/
• 关键词: 超音波原子間力顕微鏡; レーザー顕微鏡; 剥離; スパッタリング成膜; スピンコート; ボールSAWセンサ; 感度; 検出限界; 燃料電池; 水素ガス; 水蒸気; 弾性表面波センサ; ZnO; Pt; マグネトロンスパッタリング; 原子間力顕微鏡

Nondestructive evaluation of thin films with a thickness of sub-μm is required for development of high-performance devices. Since some sensitive films for surface acoustic wave gas sensor have a problem of delamination, I aimed to develop delamination-free sensitive films during sensor operation and verify the usefulness of the evaluation using ultrasonic atomic force microscopy and laser microscopy. As a result of the evaluation of the sensitivity of the sensors and the observation of the films, it was found that developed sensitive films were useful for highly sensitive sensor. Therefore, the purpose of this study was achieved.

高性能器件的开发需要对亚微米厚度的薄膜进行无损评估。由于一些用于表面声波气体传感器的敏感薄膜存在分层问题，我的目标是开发传感器运行过程中无分层的敏感薄膜，并验证使用超声原子力显微镜和激光显微镜评估的有用性。通过对传感器灵敏度的评估和对薄膜的观察，发现开发的敏感薄膜可用于高灵敏度传感器。因此，本研究的目的达到了。

项目成果

ボールSAWセンサによるVOCおよび燃料電池関連ガスの計測

使用球 SAW 传感器测量 VOC 和燃料电池相关气体

• 发表时间: 2010
• 期刊: 日本音響学会2010年秋季研究発表会講演論文集
• 作者: 辻俊宏;河合祥平;永井弘樹;坂本俊裕;岩谷隆光;赤尾慎吾;柳沢恭行;大木恒郎;中曽教尊;山中一司
• 通讯作者: 山中一司

Separation and Measurement of Mixed Hazardous Gases by Ball SAW Gas Chromatograph with Sensitive Film Fabricated Using Off-Axis Spin-Coating

离轴旋涂敏感膜球型声表面波气相色谱仪分离与测量混合有害气体

• 发表时间: 2009
• 作者: Toshihiro Tsuji;Yuki Kawai;Kentaro Kobari;Yutaro Yamamoto;Shingo Akao;Noritaka Nakaso;Kazushi Yamanaka
• 通讯作者: Kazushi Yamanaka

Multiple Organic Gas Detection by the Ball Surface Acoustic Wave Sensor

球表面声波传感器检测多种有机气体

• 发表时间: 2010
• 作者: Kazushi Yamanaka;Toshihiro Sakamoto;Yutato Yamamoto;Kentaro Kobari;Toshihiro Tsuji;Shingo Akao;Noritaka Nakaso
• 通讯作者: Noritaka Nakaso

Development of Ball SAW Gas Chromatograph for Natural Gas Components

天然气组分球型声表面波气相色谱仪的研制

• 发表时间: 2009
• 作者: 山本祐太朗;赤尾慎吾;永井弘樹;中曽教尊;辻俊宏;山中一司
• 通讯作者: 山中一司

Development and Evaluation of Metal MEMS Column for the Ball SAW Gas Chromatograph

球 SAW 气相色谱仪金属 MEMS 色谱柱的开发与评估

• 发表时间: 2010
• 期刊: Proceedings of Symposium on Ultrasonic Electronics
• 作者: Shingo Akao;Takamitsu Iwaya;Toshihiro Sakamoto;Hiroki Nagai;Noritaka Nakaso;Toshihiro Tsuji;Kazushi Yamanaka
• 通讯作者: Kazushi Yamanaka