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Principles for the development of a diffusion barrier layer to overcome the process limitations of multi-layer interconnects for semiconductor devices

Principles for the development of a diffusion barrier layer to overcome the process limitations of multi-layer interconnects for semiconductor devices
开发扩散阻挡层以克服半导体器件多层互连工艺限制的原理
批准号：
22226012
负责人：
KOIKE Junichi
金额：
$67.97万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
财政年份：
2010
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2010-04-01 至 2015-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22226012/
关键词：
銅合金薄膜配線半導体界面リフローバリア層電界促進拡散対数成長則電解促進拡散

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DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： [B. T. Bae, D. Ando, Y.Sutou, and J. Koike]
通讯作者： and J. Koike
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发表时间： 2014
期刊：
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作者： [S. Urakawa, K. Ohtsuka, S. Abe, T. Ito, and T. Nakamura, 吉川信行, Junichi Koike]
通讯作者： Junichi Koike
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发表时间： 2011
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通讯作者： J.Koike
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发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [J.Koike, K.Hirota, P.S.Yun, Y.Sutou]
通讯作者： Y.Sutou
共 51 条
    Perioperative Monitoring of Serum RalA Autoantibodies in the Patients Treated with Radical Surgery
    • 批准号：
      26462029
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $3.16万
    • 财政年份：
      2014
    • 负责人：
      KOIKE Junichi
    • 依托单位：
      Toho University
    Role of Deformation twinning on the deformation and fracture of magnesium alloys
    • 批准号：
      18360325
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $11.4万
    • 财政年份：
      2006
    • 负责人：
      KOIKE Junichi
    • 依托单位：
      Tohoku University
    Void Formation Mechanisms in Cu Interconnect for Ultra Fast ULSI Application
    • 批准号：
      13450281
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $5.7万
    • 财政年份：
      2001
    • 负责人：
      KOIKE Junichi
    • 依托单位：
      Tohoku University
    Improvement of Mechanical Properties in Mg Alloys by Optimum Microstructure Control
    • 批准号：
      11225202
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • 资助金额：
      $14.91万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      KOIKE Junichi
    • 依托单位：
      Tohoku University
    国内基金
    海外基金
    高性能抗氧化BOPP薄膜加工关键技术研究
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      王晓丽
    • 依托单位：
      江苏海洋大学
    汽车后视镜用高耐腐蚀银合金薄膜材料开发
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      林改
    • 依托单位：
      江苏城乡建设职业学院
    基于稀疏天线阵列的薄膜铌酸锂光学相控阵
    • 批准号：
      JCZRMS202600414
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
    • 依托单位：
      中国地质大学（武汉）
    CsₓWO₃/CeO₂异质结的构建及其自修复透明隔热薄膜研究
    • 批准号：
      2026JJ50456
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      谭彦妮
    • 依托单位：
      中南大学