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Principles for the development of a diffusion barrier layer to overcome the process limitations of multi-layer interconnects for semiconductor devices

开发扩散阻挡层以克服半导体器件多层互连工艺限制的原理

基本信息

批准号：
22226012
负责人：
KOIKE Junichi
金额：
$ 67.97万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
财政年份：
2010
资助国家：
日本
起止时间：
2010-04-01 至 2015-03-31
项目状态：
已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（0）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Specific contact resistivity measurements between Cu alloy and ZnGaAs using by Refined TLM

使用 Refined TLM 测量铜合金和 ZnGaAs 之间的比接触电阻率

DOI：
发表时间：
期刊：
影响因子：
0
作者：
B. T. Bae;D. Ando;Y.Sutou;and J. Koike
通讯作者：
and J. Koike

What can we do about　barrier layer scaling to 5 nm node technology

对于势垒层微缩至 5 nm 节点技术，我们能做些什么

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
0
作者：
S. Urakawa;K. Ohtsuka;S. Abe;T. Ito;and T. Nakamura;吉川信行;Junichi Koike
通讯作者：
Junichi Koike

The contact properties and TFT structures of oxide semiconductor TFTs combined with metal electrodes

氧化物半导体TFT与金属电极结合的接触特性及TFT结构

DOI：
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
0
作者：
P.S.Yun;J.Koike
通讯作者：
J.Koike

Cu Alloy TFT Electrodes for Advanced Displays

用于高级显示器的铜合金 TFT 电极

DOI：
发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
0
作者：
J.Koike;K.Hirota;P.S.Yun;Y.Sutou
通讯作者：
Y.Sutou

Grawth and diffusion barrier properties of CVD Mn oxide in a TSV structure

TSV 结构中 CVD 氧化锰的生长和扩散阻挡特性

DOI：
发表时间：
期刊：
影响因子：
0
作者：
Hao Wang;Yuji Sutou;Ando Daisuke;Junichi Koike;Kangwook Lee;Jicheil Bae;Mariappan Murugesan;Takafumi Fukushima;Tetsu Tanaka;and Mitsumasa Koyanagi
通讯作者：
and Mitsumasa Koyanagi

DOI：
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作者：
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KOIKE Junichi其他文献

古代史からみた寒河江荘の成立

从古代历史的角度看嵯峨庄的建立

DOI：
发表时间：
2006
期刊：
西村山地方史研究 24号
影响因子：
0
作者：
Michiko;Intoh;小西潤子(共著);小池淳一;小池淳一;小池淳一;鐘江宏之;三上喜孝;鈴木一馨;平川南;KOIKE Junichi;HIRAKAWA Minami;MIKAMI Yoshitaka;YAMADA Shinya;SUZUKI Ikkei;KANEGAE Hiroyuki;平川南;三上喜孝
通讯作者：
三上喜孝

伝承歳時記

传统日历

DOI：
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
0
作者：
Michiko;Intoh;小西潤子(共著);小池淳一;小池淳一;小池淳一;鐘江宏之;三上喜孝;鈴木一馨;平川南;KOIKE Junichi;HIRAKAWA Minami;MIKAMI Yoshitaka;YAMADA Shinya;SUZUKI Ikkei;KANEGAE Hiroyuki;平川南;三上喜孝;山田慎也;鈴木一馨;小池淳一;三上喜孝;鈴木一馨;小池淳一;村木二郎;久野俊彦;小池淳一;鈴木一馨;小池淳一;小池淳一;平川南;小池淳一
通讯作者：
小池淳一

『ホキ内伝』の陰陽道書としての位置づけに関する検討

关于《阴阳传》作为阴阳道书籍定位的思考

DOI：
发表时间：
2005
期刊：
文化 23
影响因子：
0
作者：
Michiko;Intoh;小西潤子(共著);小池淳一;小池淳一;小池淳一;鐘江宏之;三上喜孝;鈴木一馨;平川南;KOIKE Junichi;HIRAKAWA Minami;MIKAMI Yoshitaka;YAMADA Shinya;SUZUKI Ikkei;KANEGAE Hiroyuki;平川南;三上喜孝;山田慎也;鈴木一馨;小池淳一;三上喜孝;鈴木一馨;小池淳一;村木二郎;久野俊彦;小池淳一;鈴木一馨
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鈴木一馨

蘇民将来-牛頭天王信仰の展開と伝承-

Somin Mirai - Gozu Tenno信仰的发展和传播 -

DOI：
发表时间：
2004
期刊：
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影响因子：
0
作者：
Michiko;Intoh;小西潤子(共著);小池淳一;小池淳一;小池淳一;鐘江宏之;三上喜孝;鈴木一馨;平川南;KOIKE Junichi;HIRAKAWA Minami;MIKAMI Yoshitaka;YAMADA Shinya;SUZUKI Ikkei;KANEGAE Hiroyuki;平川南;三上喜孝;山田慎也;鈴木一馨;小池淳一;三上喜孝;鈴木一馨;小池淳一;村木二郎;久野俊彦;小池淳一;鈴木一馨;小池淳一
通讯作者：
小池淳一

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古代地方社会与文字

DOI：
发表时间：
2004
期刊：
美夫君志 69
影响因子：
0
作者：
Michiko;Intoh;小西潤子(共著);小池淳一;小池淳一;小池淳一;鐘江宏之;三上喜孝;鈴木一馨;平川南;KOIKE Junichi;HIRAKAWA Minami;MIKAMI Yoshitaka;YAMADA Shinya;SUZUKI Ikkei;KANEGAE Hiroyuki;平川南;三上喜孝;山田慎也;鈴木一馨;小池淳一;三上喜孝;鈴木一馨;小池淳一;村木二郎;久野俊彦;小池淳一;鈴木一馨;小池淳一;小池淳一;平川南
通讯作者：
平川南