Synthesis and Mechanical Characterization of Nano-Columnar DLC Coating Toward Application of MEMS

纳米柱状 DLC 涂层的合成和力学表征及其在 MEMS 中的应用

• 批准号: 22560089
• 负责人: AIZAWA Tatsuhiko
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: Shibaura Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2010 至 2012
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22560089/
• 关键词: DLC; ナノカラム構造化; 自己組織化; カラム間グラファイト化; 電子ビーム; 異常弾性挙動; カラム間選択ドーピング; 接触角制御; ＤＬＣ; DLCコーティング; 金属ドーピング; AFM; プラズマエッチング; マイクロパターン; ナノプリント; EB; アモルファスカーボン; ナノ構造化; ラマン分光法; イオン注入

Nano-columnar DLC (Diamond-Like Carbon) or amorphous carbon coating was made by PVD (Physical Vapor Deposition) method with electron beam irradiation. Its nano-structure and exotic mechanical properties were analyzed by AFM (Atomic Force Microscope) to investigate the nano-columnar structure and its relationship in the surface contact angle from hydrophilic to hydrophobic states.

采用电子束辐照物理气相沉积法制备了纳米柱状类金刚石（DLC）或非晶碳涂层。利用原子力显微镜（AFM）分析了其纳米结构和奇异的力学性能，研究了纳米柱状结构及其与表面接触角从亲水状态到疏水状态的关系。

项目成果

Effect of parameters setting on nano-columnar DLC film formation

参数设置对纳米柱状DLC薄膜形成的影响

• 发表时间: 2011
• 期刊: Proc.5^<th> SEATUC Symposium
• 作者: F.J;Hoe;T.Aizawa;T.Uematsu
• 通讯作者: T.Uematsu

CHARACTERIZATION OF CU-DOPED NANO-COLUMNAR DLC COATING

掺杂铜纳米柱状 DLC 涂层的表征

• 发表时间: 2013
• 期刊: Proc. 7th SEATUC Conference
• 作者: Satoru Yukawa;Tatsuhiko Aizawa
• 通讯作者: Tatsuhiko Aizawa

Plasma etching with metallic masking for micro-patterning onto DLC coated Mold-dies

使用金属掩模进行等离子蚀刻，在 DLC 涂层模具上进行微图案化

• 发表时间: 2011
• 作者: T.Aizawa;N.T.Redationo;E.E.Yunata
• 通讯作者: E.E.Yunata

Micro-patterning onto diamond like carbon coating via RF-DC oxygen plasma etching

通过 RF-DC 氧等离子体蚀刻在类金刚石碳涂层上形成微图案

• 发表时间: 2011
• 期刊: Proc.5^<th> SEATUC Symposium
• 作者: 相澤龍彦;杉田良雄;T.Aizawa
• 通讯作者: T.Aizawa

Synthesis and characterization of doped and undoped nano-columnar DLC coating

掺杂和非掺杂纳米柱状DLC涂层的合成与表征

• 发表时间: 2013
• 期刊: J. Tecknologi
• 作者: Foo Jin Hoe;Tatsuhiko Aizawa;Satoru Yukawa
• 通讯作者: Satoru Yukawa