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Development of guided-wave optical sensors with a micromechanical structure and its design support system
微机械结构导波光学传感器及其设计支持系统的研制
基本信息
- 批准号：22560322
- 负责人：
- 金额：$ 2.83万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份：2010
- 资助国家：日本
- 起止时间：2010 至 2012
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
In order to establish design guidelines for guided-wave optical sensors with a micromechanical structure, sensitivity dependences on waveguide position, diaphragm dimensions and so on were determined by theoretical and experimental examinations. Also, regarding an effect of squeeze-film air damping in guided-wave optical microphones, damping ratio was found to increase as air-film thickness decreased, similar to the rough theoretical prediction. Moreover, for guided-wave optical pressure and flow sensors, desktop and web applications to design waveguide and diaphragm were developed, based on our theoretical and experimental results of each sensor.
为了建立一个微机械结构的导波光学传感器的设计准则，灵敏度依赖于波导的位置，膜片尺寸等确定的理论和实验检查。此外，关于导波光学麦克风中的挤压膜空气阻尼的效果，阻尼比被发现随着空气膜厚度的减小而增加，类似于粗略的理论预测。此外，对于导波光学压力和流量传感器，桌面和网络应用程序的设计波导和膜片，根据我们的理论和实验结果的每个传感器。
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
佐藤孝,シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度の導波路位置依存性
Takashi Sato，硅基板光波导加速度传感器中传感器灵敏度的波导位置依赖性
- DOI：
- 发表时间：2010
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：G. Jin;H. Chen;C. Gao;Y. Zhang;H. Kobayashi;N. Takai;K. Niitsu;K. Hadidi;大島卓也,三浦雄介,大河正志
- 通讯作者：大島卓也,三浦雄介,大河正志
Silicon-based guided-wave optical accelerometer: experimental consideration to establish its design guideline
硅基导波光学加速度计：建立其设计指南的实验考虑
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：N. Saito;Y. Miura;T. Oshima;M. Ohkawa;T. Sato
- 通讯作者：T. Sato
Sensitivity Dependences on Waveguide Position and Diaphragm Thicknessin Silicon-Based Guided-Wave Optical Accelerometer
硅导波光学加速度计中波导位置和膜片厚度的灵敏度依赖性
- DOI：
- 发表时间：2010
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：B.Dai;T.Kato;S.Iwata and S.Tsunashima;Masashi Ohkawa
- 通讯作者：Masashi Ohkawa
Evaluation of damping ratio in a glass-based guided-wave optical microphone with a diaphragm
带隔膜的玻璃导波光学麦克风的阻尼比评估
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：M. Ohkawa;K. Murata;T. Sato
- 通讯作者：T. Sato
Sensitivity Dependences on Waveguide Position and Diaphragm Thickness in Silicon-Based Guided-Wave Optical Accelerometer
硅基导波光学加速度计中波导位置和膜片厚度的灵敏度依赖性
- DOI：
- 发表时间：2010
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：M. Ohkawa H. Endo;T. Oshima;Y. Miura;T. Sato
- 通讯作者：T. Sato
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