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Development of guided-wave optical sensors with a micromechanical structure and its design support system

Development of guided-wave optical sensors with a micromechanical structure and its design support system
微机械结构导波光学传感器及其设计支持系统的研制
批准号：
22560322
负责人：
OHKAWA Masashi
金额：
$2.83万
依托单位：
Niigata University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2010
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2010 至 2012
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22560322/
关键词：
光デバイス光回路光導波型センサ光集積回路マイクロマシン光導波路ＭＯＥＭＳ設計MOEMS

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In order to establish design guidelines for guided-wave optical sensors with a micromechanical structure, sensitivity dependences on waveguide position, diaphragm dimensions and so on were determined by theoretical and experimental examinations. Also, regarding an effect of squeeze-film air damping in guided-wave optical microphones, damping ratio was found to increase as air-film thickness decreased, similar to the rough theoretical prediction. Moreover, for guided-wave optical pressure and flow sensors, desktop and web applications to design waveguide and diaphragm were developed, based on our theoretical and experimental results of each sensor.
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会议论文
佐藤孝,シリコン基板光導波型加速度センサにおけるセンサ感度の導波路位置依存性
Takashi Sato，硅基板光波导加速度传感器中传感器灵敏度的波导位置依赖性
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [G. Jin, H. Chen, C. Gao, Y. Zhang, H. Kobayashi, N. Takai, K. Niitsu, K. Hadidi, 大島卓也,三浦雄介,大河正志]
通讯作者： 大島卓也,三浦雄介,大河正志
Silicon-based guided-wave optical accelerometer: experimental consideration to establish its design guideline
硅基导波光学加速度计：建立其设计指南的实验考虑
DOI： --
发表时间： 2012
期刊： 2012 IEEE SENSORS Proceedings
影响因子： --
作者： [N. Saito, Y. Miura, T. Oshima, M. Ohkawa, T. Sato]
通讯作者： T. Sato
Sensitivity Dependences on Waveguide Position and Diaphragm Thicknessin Silicon-Based Guided-Wave Optical Accelerometer
硅导波光学加速度计中波导位置和膜片厚度的灵敏度依赖性
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [B.Dai, T.Kato, S.Iwata and S.Tsunashima, Masashi Ohkawa]
通讯作者： Masashi Ohkawa
Sensitivity Dependences on Waveguide Position and Diaphragm Thickness in Silicon-Based Guided-Wave Optical Accelerometer
硅基导波光学加速度计中波导位置和膜片厚度的灵敏度依赖性
DOI： --
发表时间： 2010
期刊：
影响因子： --
作者： [M. Ohkawa H. Endo, T. Oshima, Y. Miura, T. Sato]
通讯作者： T. Sato
共 19 条
    Development of acoustic input and output devices far MRI scanners and nuclear plants
    • 批准号：
      17360157
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.52万
    • 财政年份：
      2005
    • 负责人：
      OHKAWA Masashi
    • 依托单位：
      Niigata University
    Development of integrated optic pressure sensors with high sensitivity and high withstanding pressure for tsunami detection
    • 批准号：
      15360186
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $3.84万
    • 财政年份：
      2003
    • 负责人：
      OHKAWA Masashi
    • 依托单位：
      Niigata University
    Development of integrated optic pressure sensor to be incorporated into a catheter for blood pressure measurement
    • 批准号：
      12650339
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.24万
    • 财政年份：
      2000
    • 负责人：
      OHKAWA Masashi
    • 依托单位：
      Niigata University
    海外基金