gas-surface reaction in sputtering process for transparent conductive oxide

透明导电氧化物溅射过程中的气体表面反应

基本信息

项目摘要

Sputtering processes have been widely used as thin film deposition in various fields. In this study, we focused on Indium-zinc-oxide(IZO) and Gallium doped zinc-oxide(GZO) as transparent conductive oxide and investigated gas phase. surface reaction. We monitored In and Zn densities and clarified the relation between radical composition, film composition, and electrical property such as resistivity, carrier density and mobility.
溅射法作为薄膜沉积技术已广泛应用于各个领域。在本研究中，我们专注于铟锌氧化物（IZO）和镓掺杂氧化锌（GZO）作为透明导电氧化物，并研究气相。表面反应我们监测In和Zn密度，并阐明自由基组成，薄膜组成，和电性能，如电阻率，载流子密度和迁移率之间的关系。

项目成果

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Behaviors of metastable He atoms in the multi-Micro Hollow Cathode Lamp measured by laser absorption spectroscopy
激光吸收光谱测量多微型空心阴极灯中亚稳态He原子的行为
  • DOI：
  • 发表时间：
    2011
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    M. Inoue;T. Ohta;T. Kanae;M. Ito;M. Hori
  • 通讯作者：
    M. Hori
レーザ吸収分光法を用いたマイクロホローカソード放電中の準安定He原子の挙動
使用激光吸收光谱研究微空心阴极放电过程中亚稳态 He 原子的行为
  • DOI：
  • 发表时间：
    2011
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    井上真里;太田貴之;家苗毅司;伊藤昌文;加納浩之;山川晃司;堀勝
  • 通讯作者：
    堀勝
Kinetics of metastable He atom middle pressure in micro hollow cathode discharge
微空心阴极放电亚稳态He原子中压动力学
  • DOI：
  • 发表时间：
    2011
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    M. Inoue;T. Ohta;T. Kanae;M. Ito;M. Hori
  • 通讯作者：
    M. Hori
Behavior of Metastable He Atom in the Multi-Micro Hollow Cathode Lamp Measured by Laser Absorption Spectroscopy
激光吸收光谱测量多微型空心阴极灯中亚稳态He原子的行为
  • DOI：
  • 发表时间：
    2011
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    M. Inoue;T. Ohta;T. Kanae;M. Ito;K. Yamakawa;M. Hori
  • 通讯作者：
    M. Hori
プラズマプロセスにおけるモニタリング技術
等离子过程监控技术
  • DOI：
  • 发表时间：
    2010
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Y. You;A. Ito;R. Tu;T. Goto;太田貴之
  • 通讯作者：
    太田貴之
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